基于Parylene封装的“棒棒糖式”MEMS矢量水听器

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目录

1．绪 论

1.1 课题的研究背景和意义

1.2 国内外研究现状

1.3 本论文主要研究内容

2．基于Parylene的仿海豹胡须式封装

2.1 仿海豹胡须式封装设计

2.2 声压梯度特性分析

2.3 Parylene封装对灵敏度和谐振频率影响分析

2.4 本章总结

3．“棒棒糖式”高灵敏度结构

3.1 “棒棒糖式”高灵敏度微结构设计

3.2 微结构灵敏度分析

3.3 频带分析

3.4 本章总结

4．Parylene封装的“棒棒糖式”MEMS矢量水听器的制备

4.1 “棒棒糖式”微结构

4.2 Parylene薄膜封装

4.3 本章总结

5．Parylene封装的“棒棒糖式”MEMS矢量水听器测试

5.1 Parylene封装对于频率特性的优化

5.2 “棒棒糖式”高灵敏度结构测试

5.3 绝缘特性和耐压测试

5.4 本章小结

6．总结与展望

6.1 工作总结

6.2 论文创新点

6.3 工作展望

参考文献

附录 I 符号表

攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果

致谢