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用于场发射阴极的磁控溅射金刚石薄膜的研究

         

摘要

用激光拉曼谱和原子力显微镜等现状分析手段研究了磁控溅射石墨靶制备的薄膜的结构和特性。结果表明:薄膜由金刚石相和石墨相组成,它们的相对含量取决于制备工艺参数,特别是沉积时的基体温度的影响尤为明显。薄膜表面呈现为密度很高的微尖锥,这为制造大面积场发射平板显示器的阴极提供了广阔的前景。

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