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半导体外延工艺的良率提升

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摘要

在半导体产业中，良率分析一直是个热门话题。几十亿的资金投资在晶圆制造的设备上，迅速的投资收益对半导体厂商来说是非常关键的。加速良率学习并提高良率是一项重要的竞争优势。若想要维持一定的生产力，至少不能增加浪费在寻找制造问题和改正制造问题的时间。将良率提高10％，就可以替企业一年省下数亿的资金。

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来源
《半导体行业》|2009年第1期|52-53|共2页
作者

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作者单位

JMP中国区顾问团队;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TN304.23;
关键词
半导体产业; 外延工艺; 晶圆制造; 投资收益; 竞争优势; 生产力; 资金;

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