Intel 41亿力助ASML研发450mm晶圆技术

郑冬冬

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Intel 41亿力助ASML研发450mm晶圆技术

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正说起ASMLHoldingN.V.(阿斯麦),你可能会感觉到很陌生,但是Intel、三星、海力士、台积电、中芯国际等等这些声名显赫的巨头,之所以一直能不断把半导体工艺推向前进,很大程度上都要感谢这家来自荷兰的全球光刻设备顶级巨头背后默默的贡献。没有它提供的世界上精度最高、效率最高、应用最广泛的光刻机,都得去喝西北风。(另外两家能够提供光刻机的是尼康、佳能)

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来源
《半导体信息》 |2012年第4期|P.19-20|共2页
作者
郑冬冬;
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作者单位

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
光刻机半导体工艺 ASML Intel 41 海力士中芯国际尼康声名显赫阿斯硅半导体;

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