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Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)
Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)
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1.
Hydrogen Doping of ZnO:AI Films Deposited by Pulsed DC-Sputtering of Ceramic Targets
机译:
陶瓷靶的脉冲直流溅射沉积ZnO:Al薄膜的氢掺杂
作者:
F. Ruske
;
V. Sittinger
;
W. Werner
;
B. Szyszka
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
zinc oxide;
hydrogen;
sputter deposition;
transparent/conductive coating;
2.
Future Space-Based Deposition Technology for Solar Power and Astronomical Applications
机译:
太阳能和天文应用的未来基于空间的沉积技术
作者:
M.L. Fulton
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
space solar power;
ion assisted deposition;
cathodic arc deposition;
deployable space optics;
3.
Gas Diffusion Barriers on Polymers Using Al_2O_3 Atomic Layer Deposition
机译:
使用Al_2O_3原子层沉积的聚合物上的气体扩散壁垒
作者:
M.D. Groner
;
S.M. George
;
R.S McLean
;
P.F Carcia
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
permeation barrier coatings;
polymer substrates;
atomic layer deposition;
moisture permeation;
4.
Fabrication and Analysis of Coatings in EUV Range
机译:
EUV范围内涂层的制备和分析
作者:
C.-C. Lee
;
P.-H. Lin
;
J.-Y. Wu
;
J.-C. Hsu
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
EUV;
X-ray;
ion beam sputtering;
high reflection mirror;
5.
End-Hall Ion Source Characterization at High Power
机译:
高功率下霍尔离子源的表征
作者:
D. Burtner
;
V. Zhurin
;
D. Siegfried
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
ion source;
power supplies;
ion beam assisted deposition;
ion assisted deposition;
6.
Durability and Cost Analysis of Solar Reflective Hardcoat Materials Deposited by IBAD
机译:
IBAD沉积的太阳反射硬涂层材料的耐用性和成本分析
作者:
C.E. Kennedy
;
R.V. Smilgys
;
R.L. Swisher
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
solar reflectors;
cost analysis;
ion-beam-assisted deposition;
alumina;
7.
Deposition of Silicon Dioxide Films Using Electron Beam-Generated Plasmas
机译:
电子束产生等离子体沉积二氧化硅薄膜
作者:
S.G. Walton
;
D. Leonhardt
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
plasma source;
PECVD;
electron beam;
hollow cathode;
8.
Deposition of Silicon Oxide Films onto 3D Geometries by Plasma Enhanced CVD
机译:
通过等离子增强CVD将氧化硅膜沉积到3D几何形状上
作者:
A. Bieder
;
A. Sonnenfeld
;
B. Borer
;
Rudolf von Rohr
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
plasma enhanced CVD;
silicon oxide;
3D;
metal and polymer substrates;
9.
Deposition of Functional Coatings Using an In-line Atmospheric Pressure Plasma Apparatus
机译:
使用在线大气压等离子体设备沉积功能性涂层
作者:
D.P. Dowling
;
B. Twomey
;
G. Byrne
;
L. ONeill
;
L.-A. OHare
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
atmospheric plasma;
web coating applications;
plasma polymerization;
hydrophilic and hydrophobic coatings;
10.
Dealing with Sensitivity Variations During the Manufacture of Optical Coatings
机译:
在制造光学镀膜时应对灵敏度变化
作者:
D. Poitras
会议名称:
《》
|
2005年
关键词:
optical coating design;
monitoring (in situ);
optical coating fabrication;
sensitivity;
11.
Current Progress in Large Scale Manufacturing of PVD Coatings for Decorative Applications
机译:
大规模生产装饰用PVD涂层的最新进展
作者:
M. Eerden
;
R. Tietema
;
T. Krug
;
P. Eh. Hovsepian
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
arc vaporization;
sputter deposition;
reactive deposition;
color;
12.
Cu on Polyimide Films by Vacuum Web Sputtering System for Tape Carrier Package
机译:
载带包装用真空卷材溅射系统在聚酰亚胺薄膜上镀铜
作者:
J. Cho
;
Y.S. Kim
;
J.-Y. Park
;
W.-K. Choi
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
Cu on polyimide;
tape carrier package;
vacuum web sputtering;
peel strength;
13.
Continuous Deposition of Diamond-Like Films on Moving Substrates
机译:
在移动的基材上连续沉积类金刚石薄膜
作者:
M.M. David
;
D.G. ONeill
;
D.J. McClure
;
B.J. Gates
;
C.B. Shay
;
M.C. Gifford
;
J.D. Heininger
;
and S.P. Maki
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
diamond-like carbon;
plasma processing of webs;
plasma enhanced CVD;
ion enhanced plasma CVD;
14.
Comparison of TiCN Coatings by Arc Evaporation and Unbalanced Magnetron Sputtering
机译:
电弧蒸发和不平衡磁控溅射TiCN涂层的比较
作者:
M. Eerden
;
J. Landsbergen
;
R. Tietema
;
T. Krug
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
arc vaporization;
sputter deposition;
reactive deposition;
color;
15.
Coating Textiles in Vacuum: Extending Vacuum Web Coating Technology to Everyday Apparel
机译:
在真空中涂覆纺织品:将真空卷材涂覆技术扩展到日常服装
作者:
M.G. Mikhael
;
A. Yializis
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
flash evaporation;
radiation curing;
hydrophobic/oleophobic;
hydrophilic;
16.
Combination of Hollow Cathode and Vacuum Arc Plasma for Effective Hard Material Coatings on Tools
机译:
空心阴极和真空电弧等离子体的结合,可在工具上形成有效的硬质材料涂层
作者:
M. Holzherr
;
M. Falz
;
R. Wilberg
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
hollow cathode plasma;
optical emission spectroscopy (OES);
vacuum arc plasma;
quadrupole mass spectroscopy (QMS);
17.
Aspects of the Target Voltage Behavior in Reactive Sputtering
机译:
反应溅射中目标电压行为的各个方面
作者:
R. De Gryse
;
D. Depla
;
J. Haemers
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
reactive sputtering;
subplantation;
target voltage;
plasma;
18.
Arc Handling Considerations for DC Sputtering Power Supplies
机译:
直流溅射电源的电弧处理注意事项
作者:
D.J. Christie
;
H.V. Walde
;
T.J. Ash
会议名称:
《》
|
2005年
关键词:
arc handling;
DC sputtering;
pulsed-DC sputtering;
fault detection;
19.
Automatic Permeability Testing: The Challenges and Solutions
机译:
自动渗透性测试:挑战和解决方案
作者:
A. Hartvigsen
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
moisture permeation;
oxygen permeation;
permeability testing;
permeation barrier coatings;
20.
An Optical Sensor for Real-Time In situ Endpoint Monitoring During Dry Etching of Multi-stack Layers
机译:
用于多堆叠层干法刻蚀期间实时原位端点监控的光学传感器
作者:
E. Teboul
;
Y. Ji
;
A. Kramer
;
P. Amary
;
R. Benherhat
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
in situ endpoint detector;
thickness measurements;
imaging interferometry;
real-time etch rate;
21.
An Atmospheric Pressure Plasma Route to Hydrophilic Coatings
机译:
大气压等离子途径制备亲水涂层
作者:
L. ONeill
;
S.P. Ryan
;
L-A. OHare
;
S.R. Leadley
;
A.J. Goodwin
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
plasma polymerization;
hydrophyllic and hydrophobic coatings;
web coating applications;
cross-link;
22.
Advances in Sputter Hardware for Rotating Cylindrical Magnetron Sputtering
机译:
旋转磁控管溅射的溅射硬件进展
作者:
K. Dellaert
;
J. De Boever
;
S. Porteman
;
W. De Bosscher
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
end block;
sputter deposition;
magnetron;
display coater;
23.
Advanced Rotatabie Magnetron Module Designed for Large Area Glass Coaters
机译:
专为大面积玻璃镀膜机设计的高级Rotatabie磁控管模块
作者:
J. Brueckner
;
G. Teschner
;
F. Milde
;
J. Krause
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
rotatable magnetron;
closed loop process control;
sputter deposition;
conductive ZAO;
24.
A Study of Interfacial Layer Effect Synthesized by High Energy Ion Cascade on Adhesion Strength Deterioration Between Copper Thin Film and Polyimide Substrates
机译:
高能离子流合成界面层效应对铜薄膜与聚酰亚胺基体粘结强度下降的影响
作者:
Y.M. Chung
;
W.S. Jung
;
C.S. Moon
;
J.G. Han
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
copper clad laminate;
polyimide;
grid assisted magnetron sputtering;
adhesion;
25.
A Multi-Zone, Multi-Gas Reactive Sputtering Control System
机译:
多区域,多气体反应溅射控制系统
作者:
W.D. Sproul
;
D.J. Christie
;
D.C. Carter
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
sputtering;
reactive sputtering;
multiple zones;
multiple gases;
26.
Science and Application of Duplex Coatings
机译:
双面涂料的科学与应用
作者:
J.-D. Kamminga
;
R. Hoy
;
P. van Essen
;
D. Doerwald
;
M. Schreurs
;
G.C.A.M. Janssen
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
plasma nitriding;
physical vapor deposition;
tool coatings;
chromium nitride;
27.
Nanocomposite Mo-Ti-N Coatings for Wear Resistant Applications
机译:
用于耐磨应用的纳米复合Mo-Ti-N涂层
作者:
D. Glocker
;
M. Graham
;
R. Hoffman
;
A. Madan
;
J.-S. Wang
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
nanocomposite coatings;
superhard materials;
reactive sputtering;
cylindrical magnetron;
28.
New Developments in the Manufacturing of Thermal Sprayed Cylindrical Targets
机译:
热喷涂圆柱形靶材制造的新进展
作者:
H. Delrue
;
J. Van Holsbeke
;
A. Blondeel
;
W. De Bosscher
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
sputtering materials;
sputtering targets;
sputter deposition;
cylindrical targets by thermal spraying;
29.
New Development of 'Heat Sterilization Durable SiO_x Vacuum Coated Film'
机译:
“热杀菌耐用的SiO_x真空镀膜”的新发展
作者:
T. Hachisuka
;
S. Yoshida
;
C. Okawara
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
gas barrier;
SiO_x;
PVD;
polymer substrate;
30.
Montmorillonite Nanocomposites for Clear Coatings
机译:
用于透明涂料的蒙脱土纳米复合材料
作者:
P.A. Mahanwar
;
L.K. Chaudhari
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
nanocoatings;
montmorillonite;
nanoparticle;
protective clear coats;
31.
PVD of Films on Ferromagnetic Substrates in Magnetized Plasma Systems
机译:
磁化等离子体系统中铁磁基体上薄膜的PVD
作者:
L.-E. Gustavsson
;
H. Barankova
;
L. Bardos
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
magnetized plasma;
ferromagnetic substrates;
hybrid plasma;
PVD;
32.
Production of Rotatable Sputter Targets for Large Area Coating using Hot Isostatic Pressing (HIP)
机译:
使用热等静压(HIP)生产大面积涂层的可旋转溅射靶材
作者:
A. Plaisted
;
J. Runkle
会议名称:
《》
|
2005年
关键词:
HIP;
hot isostatic pressing (HIP);
sputter;
targets;
33.
Process Diagnostics of Inductively Coupled Plasma Magnetron Sputtering of Mg in Ar + O_2
机译:
Ar + O_2中Mg的电感耦合等离子体磁控溅射工艺诊断。
作者:
J. Joo
;
W. Yang
;
T. Kim
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
process monitoring;
inductively ccupled plpsma;
MgO;
reactive mmgnetron sputtering;
34.
Real-Time Growth Studies on the Expanding Thermal Plasma Deposited ZnO Films by Means of In Situ Spectroscopic Ellipsometry
机译:
原位光谱椭偏仪在热等离子体沉积ZnO薄膜上的实时生长研究
作者:
I. Volintiru
;
M. Creatore
;
J.L. Linden
;
M.C.M. van de Sanden
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
in situ spectroscopic ellipsometry;
zinc oxide;
film growth;
expanding thermal plasma;
35.
MF and RF Systems for Large Area Glass Coating and Flat Panel Display Applications
机译:
用于大面积玻璃镀膜和平板显示器应用的MF和RF系统
作者:
T. Rettich
;
M. Blattner
;
P. Wiedemuth
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
sputter deposition;
power supplies;
large area coating;
flat panel displays;
36.
Managing Arcs in RF Powered Plasma Processes
机译:
在射频供电的等离子体工艺中管理电弧
作者:
G. van Zyl
;
R. Heckman
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
RF;
arc detection;
arc management;
power supplies;
37.
Characterization of a High Output Gridless Ion Source
机译:
高输出无栅离子源的表征
作者:
D. Gardner
;
W. Sainty
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
ion beam assisted deposition;
gridless ion source;
power supplies;
ion current density and Ion energy;
38.
ZnO:Al Films for a-Si:H Thin Film Solar Cells
机译:
用于a-Si:H薄膜太阳能电池的ZnO:Al膜
作者:
B. Szyszka
;
V. Sittinger
;
F. Ruske
;
W. Werner
;
A. Pflug
;
B. Rech
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
ZnO:Al;
TCO;
reactive magnetron sputtering;
thin film photovoltaics;
39.
Uniform Glow-Like Atmospheric DBD for Surface Treatment and Deposition
机译:
均匀的类似辉光的大气DBD,用于表面处理和沉积
作者:
P. Peeters
;
E. Aldea
;
M.C.M van de Sanden
;
H. de Vries
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
atmospheric;
plasma;
deposition;
surface treatment;
40.
Using Vacuum Roll Coaters to Produce Anti-Counterfeiting Devices
机译:
使用真空辊涂机生产防伪设备
作者:
R.W. Phillips
;
A. Argoitia
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
thin film interference;
diffraction;
security devices;
anti-counterfeiting;
41.
Water Vapor Permeation Studies of Metal Oxide/Polymer Coated Plastic Films
机译:
金属氧化物/聚合物涂层塑料薄膜的水蒸气渗透研究
作者:
Y. Numata
;
T. Oya
;
M. Kuwahara
;
K. Ito
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters Annual Technical Conference; 20050423-28; Denver,CO(US)》
|
2005年
关键词:
permeation barrier coatings;
metal oxides;
surface free energy;
water vapor permeation;
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