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MEMS中的薄膜应力检测结构及其制备方法

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摘要

本申请涉及一种MEMS中的薄膜应力检测结构。MEMS中的薄膜应力检测结构包括基板、指针、第一悬臂、第二悬臂、第一支撑体、第二支撑体和标尺。第一悬臂包括相对的第一端和第二端。第二悬臂包括相对的第三端和第四端。沿指针的延伸方向，第一端与第三端交错连接于指针的两侧。第二端与第一支撑体连接。第四端与第二支撑体连接。当第一悬臂和第二悬臂内部存在应力时，分别通过第一端和第三端对指针施加转动力矩，转动力矩带动指针转动。刻度标识用于标识指针端的位置。通过刻度标识获知指针端的位置发生变化，进而获知第一悬臂和第二悬臂内部应力的变化。MEMS中的薄膜应力检测结构的结构简单，通过直观的刻度标识即能辨识应力的变化。

著录项

  • 公开/公告号CN110849507A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-02-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 清华大学;

    申请/专利号CN201911138659.2

  • 发明设计人 阮勇;尤政;宋志强;李浩;

    申请日2019-11-20

  • 分类号G01L1/00(20060101);B81B7/02(20060101);

  • 代理机构11606 北京华进京联知识产权代理有限公司;

  • 代理人方晓燕

  • 地址 100084 北京市海淀区清华园1号

  • 入库时间 2023-12-17 06:38:44

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-03-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01L1/00 申请日:20191120

    实质审查的生效

  • 2020-02-28

    公开

    公开

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