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表面微型机械加工的绝对压力传感器及其制造方法

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本发明公开了一种电容式压力传感器结构，特别是用于测量绝对压力的传感器的结构及其制造方法。这种传感器包括至少一个固定电极(3)以及至少一个与此固定电极(3)电绝缘且以空间(10)与所述固定电极(3)公开的可动电极(6，7)。依据本发明，所述可动电极(6，7)的一部分是由多孔性多晶硅层(6)所形成，而这一部分在已完工的部件中是作为所述柔性的可动电极(6，7)的整体部分保留下的。

著录项

公开/公告号CN1225400C

专利类型发明授权
公开/公告日2005-11-02

原文格式PDF
申请/专利权人威易拉有限公司;瓦尔蒂翁特克尼里伦图基穆斯克斯库斯公司;
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申请/专利号CN01821908.X
发明设计人 M·布洛姆伯格;
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申请日2001-11-07
分类号B81B3/00;B81C1/00;G01L9/12;G01L1/14;
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人温大鹏;章社杲
地址芬兰赫尔辛基
入库时间 2022-08-23 08:57:54

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2011-03-30

专利权的转移 IPC(主分类):B81B 3/00 变更前: 变更后: 变更前:

专利申请权、专利权的转移
2005-11-02

授权

授权
2004-06-09

实质审查的生效

实质审查的生效
2004-03-31

公开

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