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一种微型绝对压力传感器的设计与开发

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本文介绍了一种用于微型绝压传感器的压阻式力敏芯片的设计原理、内部结构及性能特点。该芯片做成的微型动态压力传感器在空气动力学、汽车发动机的进气歧管的压力控制、汽车轮胎的压力实时监测系统（TPMS）中都得到成功应用。

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来源
《中国兵工学会第十四届测试技术年会暨中国高等教育学会第二届仪器科学及测控技术年会》|2008年|1-4|共4页
会议地点吉林延吉
作者
尤彩红; 王冰; 王文襄; 张文栋;
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作者单位

中国兵工学会;

中国高等教育学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.12;TH823.2;
关键词
硅硅键合; 方形膜设计; 各向异性湿法腐蚀; 压力传感器; 压力实时监测;

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