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一种晶圆周转装置及晶圆周转方法

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本发明公开了一种晶圆周转装置和晶圆周转方法。晶圆周转装置包括晶圆盒载置台，晶圆盘载置台，第一中转台，第二中转台，三个搬运机构以及控制单元。第一中转台包括用于识别并调整晶圆的平边位置的晶圆寻边器；第二中转台包括用于识别并调整晶圆盘的承载部的平边位置的晶圆盘寻边器。控制单元控制三个搬运机构分别在晶圆盒载置台和晶圆寻边器之间、晶圆寻边器和晶圆盘寻边器之间、以及晶圆盘寻边器和晶圆盘载置台之间传递晶圆，以高效地将晶圆从晶圆盒载置台搬运至晶圆盘载置台，或从晶圆盘载置台搬运至晶圆盒载置台。

著录项

  • 公开/公告号CN109712923B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-12-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海福赛特机器人有限公司;

    申请/专利号CN201811622408.7

  • 发明设计人 刘纯君;

    申请日2018-12-28

  • 分类号H01L21/677(20060101);H01L21/67(20060101);

  • 代理机构31275 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙);

  • 代理人陶金龙;尹一凡

  • 地址 200233 上海市徐汇区宜州路188号2号楼1101室

  • 入库时间 2022-08-23 11:11:57

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