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用于制备砷化镓衬底的方法、砷化镓衬底及其用途

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本发明涉及用于制备经表面处理的砷化镓衬底的新方法，和新提供的砷化镓衬底及其用途。根据本发明的方法的改进基于特殊的最终表面处理，其中使砷化镓衬底的至少一个表面在干燥条件下借助UV辐照和/或臭氧气体进行氧化处理，使砷化镓衬底的至少一个表面与至少一种液体介质接触，以及马兰葛尼式干燥所述砷化镓衬底。根据本发明提供的砷化镓衬底显示出迄今未获得的表面性质，尤其是所述表面性质之均匀性，其可借助光学表面分析仪检测，尤其是借助椭圆偏振侧向衬底映射用于光学不接触定量表征。

著录项

公开/公告号CN107634000B

专利类型发明专利
公开/公告日2022.09.23

原文格式PDF
申请/专利权人弗赖贝格化合物原料有限公司;
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申请/专利号CN201710885350.4
发明设计人 W·弗利格尔;C·克莱门特;C·维劳尔;M·舍费尔奇甘;A·克莱茵韦希特;S·艾希勒;B·韦纳特;M·梅德尔;
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申请日2014.02.12
分类号H01L21/02;G01N21/21;
代理机构中国贸促会专利商标事务所有限公司;
代理人邹智弘
地址德国弗赖贝格
入库时间 2022-09-26 23:21:11

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