离子分布

摘要： 【目的】评价培忠杉苗木耐盐性,从离子吸收与分配的角度研究苗木对盐胁迫的响应机制,为培忠杉苗木在盐渍化区域的栽培应用提供科学依据。【方法】以3年生容器苗为试验材料,通过浇灌不同含量的NaCl溶液,使土壤中NaCl的质量分数分别达到0.1%(CK)、0.3%、0.4%和0.5%,测定分析培忠杉苗木不同部位的Na^(+)、K^(+)、Ca^(2+)含量及K^(+)/Na^(+)、Ca^(2+)/Na^(+)比值变化规律。【结果】不同处理组培忠杉苗木对不同离子的吸收与分布存在差异。随着土壤含盐量的增高,培忠杉苗木体内的Na^(+)总量逐渐增高,不同部位的Na^(+)含量整体表现为:叶部>根部>茎部,但根部的Na^(+)积累速率远大于叶部的积累速率。与对照组相比,3种不同盐含量处理组培忠杉苗木体内的K^(+)总量变化幅度较小,而Ca^(2+)总量均明显增大;同一盐含量处理条件下,培忠杉苗木不同部位的K^(+)含量整体表现为:叶部>茎部>根部,不同部位的Ca^(2+)含量整体表现为:茎部>叶部>根部。其中,培忠杉苗木根部的K^(+)和Ca^(2+)含量在盐胁迫下均无显著变化,茎部的K^(+)含量则呈下降趋势,而叶部的K^(+)和Ca^(2+)含量与茎部的Ca^(2+)含量则均显著大于对照组。与对照组相比,培忠杉苗木根部的K^(+)/Na^(+)和Ca^(2+)/Na^(+)比值均显著下降,而叶部和茎部的K^(+)/Na^(+)和Ca^(2+)/Na^(+)比值变化幅度较小,差异不显著。【结论】在盐胁迫条件下,培忠杉苗木通过对Na^(+)的重新分配和保持叶部较高的K^(+)和Ca^(2+)含量,维持了地上部分较高的K^(+)/Na^(+)和Ca^(2+)/Na^(+),提高了其耐盐性。

摘要： 以耐盐结缕草(Zoysia japonica Steud.)Z011和Z015和敏盐结缕草Z004和Z103为试验材料,利用非损伤微测技术和X射线能谱仪对结缕草在NaCl胁迫(200 mmol·L-1 NaCl)下不同根区Ca^(2+)、H+流的变化以及Ca^(2+)在根系的分布情况进行了分析。结果表明:在对照条件下,4个结缕草材料根尖分生区、伸长区和成熟区Ca^(2+)以外排为主,其中分生区的平均Ca^(2+)流速明显高于伸长区和成熟区,且耐盐结缕草分生区的平均Ca^(2+)流速明显高于敏盐结缕草;NaCl胁迫后,总体上看,耐盐结缕草3个根区的Ca^(2+)由外排变为内流,而敏盐结缕草仅根尖成熟区的Ca^(2+)由外排变为内流,耐盐结缕草较敏盐结缕草有更多的Ca^(2+)内流参与离子调控。耐盐结缕草Z011与其他3个材料的H+流有明显区别,在对照条件下,Z0113个根区的H+均为内流,而其他3个材料3个根区的H+为微弱内流或外排,且其平均H+流速明显低于Z011;NaCl胁迫后,Z0113个根区H+内流明显减弱,而其他3个材料3个根区H+的内流或外排也减弱,但差异不明显。扫描结果显示:总体上看,NaCl胁迫后,4个结缕草材料根系表皮、皮层和中柱中Ca^(2+)相对含量显著降低,且随着处理时间的延长表现为先降低再升高的趋势;同一材料根系表皮、皮层和中柱间的Ca^(2+)相对含量存在差异,但区隔作用不明显。综合分析结果表明:耐盐结缕草有更强的Ca^(2+)调控能力,分生区为Ca^(2+)参与NaCl胁迫下离子平衡的关键调控区域,结缕草根系对Ca^(2+)没有区隔作用或区隔不明显。另外,耐盐结缕草Z011可能具有不同于其他3个材料的H+调控机制。

摘要： 盐害是一种主要的非生物胁迫,严重影响大豆的产量和品质,筛选大豆耐盐种质对耐盐性研究具有重要意义。本研究以332份栽培大豆品种为研究对象,以苗期NaCl致死浓度为评价指标,初步评价其耐盐性。从中选择3份不同耐盐等级的材料为供试材料,公认的耐盐材料Lee68和盐敏材料Jackson为对照材料,用150 mmol/L NaCl溶液处理后,测定表型性状、生理指标及光合指标等,分析不同耐盐种质与这些指标间的关系,进一步探究耐盐生理特性。结果表明:(1)供试种质耐盐性差异较大,筛选出6份敏盐品种和18份耐盐品种。(2)形态性状分析表明不同耐盐等级的品种在盐胁迫下植株干重、株高和根长均下降,其中汾豆105和Lee68的相对干重、相对株高和相对根长较高,晋大70次之,陕西八月黄和Jackson的相对干重、相对株高和相对根长较低。(3)不同组织离子含量分析表明汾豆105、Lee68的根和茎中Na+、Cl-积累较多,叶片中较少,而陕西八月黄和Jackson与其相反。(4)叶片光合特性分析表明盐胁迫下陕西八月黄和Jackson的SPAD均下降,晋大70、Lee68和汾豆105上升;净光合速率均降低,其中汾豆105和Lee68的降幅小,陕西八月黄和Jackson的降幅较大。综合形态和生理指标分析发现5个品种在盐胁迫下的耐盐能力:汾豆105和Lee68>晋大70>陕西八月黄和Jackson,与初筛结果一致,表明致死浓度可作为苗期耐盐性鉴定简便、可靠的指标,同时这些材料为大豆耐盐育种提供了基础材料。

摘要： 深振荡磁控溅射(Deep Oscillation Magnetron Sputtering,DOMS)通过一系列调制的电压微脉冲振荡波形,能够实现完全消除电弧放电和靶材近全离化,实现高密度、低离子能量和高束流密度的等离子体沉积.本文综述了DOMS的技术原理和深振荡脉冲放电特性对等离子体离子种类、离子能量的时空演化过程的影响,结果表明,DOMS脉冲参数对靶离化过程的影响遵循电压-时间演变规律,靶离化过程为随短脉冲电压振荡的阶段性离化.

摘要： 文章利用沙培法培养燕麦幼苗,采用0、48、72、96、120、144 mmol/L的NaCl盐浓度梯度进行胁迫处理,探讨NaCl对其幼苗叶及根系生长和生理指标的影响.结果表明:(1)NaCl胁迫强度的增大,对燕麦的存活率无影响;(2)随NaCl胁迫强度的增大,燕麦的生物量、分蘖数、根系长度、体内含水量、叶绿素、K^(+)、Ca、NO^(-)、H_(2)PO_(4)^(-)含量大体呈下降趋势,Na^(+)、Na^(+)/K^(+)、Cl^(-)、SO_(4)^(2-)、脯氨酸含量大体呈增加趋势;(3)NaCl胁迫强度对组织液的pH值、有机酸无显著影响.以上结果说明,在NaCl胁迫下,燕麦主要采取积累脯氨酸、Cl^(-)和SO_(4)^(2-)离子生理适应的方式.另外,根可以改变Na^(+)的分布,减少Na^(+)对叶的伤害并提高燕麦幼苗的耐受力.

摘要： [目的]探究不同浓度中性盐或碱性盐处理对苦楝幼苗渗透调节特性和离子分配的影响,以了解苦楝在幼苗生长阶段对盐碱胁迫的响应.[方法]以1年生苦楝Melia azedarach实生苗为材料,通过设置中性盐Na2SO4和碱性盐Na2CO33个浓度(200、400和600 mmol·L-1)处理40 d,研究苦楝渗透调节物质含量、抗氧化酶活性及离子分布的差异.[结果]苦楝叶片游离脯氨酸和可溶性蛋白含量在低盐浓度(200 mmol·L-1)随时间延长呈递增趋势,在中、高盐浓度(400和600 mmol·L-1)呈先升后降的变化趋势.可溶性糖含量、超氧化物歧化酶(SOD)酶活性和过氧化物酶(POD)酶活性在3种盐浓度均是随时间延长呈先升后降的趋势,且碱性盐对苦楝幼苗可溶性糖含量和酶活性的影响更大.盐胁迫下苦楝根、茎和叶中Na+含量均随盐浓度的升高而上升,Na+在各器官中的分布总体上呈叶>茎>根的趋势.200 mmol·L-1浓度中性盐处理促进了苦楝根和叶中K+的积累,在400和600 mmol·L-1浓度下,两种盐对根和叶中K+的积累均起到显著的抑制作用,碱性盐比中性盐的抑制作用更强.苦楝根、茎和叶中K+/Na+整体上随盐浓度的升高而呈下降的趋势,且盐浓度越高,下降程度越大.[结论]苦楝幼苗遭受盐胁迫时,渗透调节起重要作用,碱性盐对苦楝幼苗的影响大于中性盐,苦楝具有一定的耐盐碱能力,可作为低盐土壤环境改良树种引种栽培.

摘要： 为探明宁夏环香山压砂区盐碱地表层土壤离子分布主要影响因素及盐分类型,研究选取覆盖状况、地面倾角和海拔3个因素,对0～20 cm表层土壤离子分布、盐分存在形式及钠吸附比(SAR)进行研究.结果表明:(1)覆盖状况对土壤表层离子含量有显著影响,地面倾角对HCO3-影响显著,海拔对Mg2+有显著影响,裸地Ca2+、Mg2+、K+、Na+、Cl-和SO42-含量依次比压砂地高0％～284.21％、100％～130.53％、33.33％～48.94％、18.01％～182.26％、111.94％～468.72％和102.74％～118.82％,而CO32-、HCO3-含量压砂覆盖比裸地分别高77.08％～400％和24.52％～48.09％;(2)阳离子之间除K+与Ca2+、Mg2+具有显著正相关外其余都极显著正相关,阴离子Cl-和SO42-,CO32-和HCO3-呈极显著正相关,其余都呈负相关或不显著正相关,阳离子与Cl-均呈极显著正相关,与SO42-除K+外其余均呈极显著正相关,阳离子与CO32-和HCO3-呈负相关或不显著正相关;(3)该区域表层土壤盐分主要以NaCl、KCl、CaCl2、MgCl2、CaSO4、MgSO4和Na2SO4的形式存在,按照摩尔量计,盐分含量排序为:Na+盐>Mg2+盐>Ca2+盐>K+盐;(4)覆盖状况对土壤表层SAR影响显著,地面倾角随海拔变化对土壤SAR没有显著影响,压砂地SAR为3.99(mol/kg)0.5,裸地为10.73(mol/kg)0.5.宁夏环香山压砂区0～20 cm埋深土壤离子分布主要受到覆盖状况和地面倾角的影响,除K+外,其他离子受海拔的影响不明显,盐分主要是Na+盐,其次是Mg2+盐,K+盐含量最少.

摘要： 以亚硫酸镁模拟氧化镁湿法脱硫浆液对NO2进行吸收,考察不同操作条件下的NO2吸收效率及吸收液中主要离子的分布情况.结果表明,O2对吸收过程的影响很大,NO2主要通过与SO32-之间发生的链式反应在液相中产生SO42-和NO2-,O2会与NO2发生竞争作用,极大地消耗了SO32-,导致脱硝效率迅速下降.抗氧化剂邻苯二酚的添加可以抑制SO32-的氧化,且添加的浓度越高,抑制效果越好.溶液的pH值主要通过影响S(IV)的存在形态来影响吸收反应,当pH值较低时,吸收反应的速率降低,且在酸性条件下,NO2-易发生歧化反应转化为NO3-.NO2-的累积将会在一定程度上降低NO2的吸收,其他阴离子NO3-、SO42-及Cl-对NO2的吸收无明显影响.金属阳离子例如Mn2+及Co2+会加速SO32-的氧化,在一定程度上影响NO2的吸收.

摘要： 采用时空转化的方法研究了滴灌条件下不同盐地碱蓬种植年限(0 a、1 a、2 a和3 a)对重度盐碱地土壤盐分及盐离子在0~120 cm土壤剖面的分布特征的影响,为盐地碱蓬在盐碱地中的改良利用提供理论依据。试验结果表明:滴灌种植盐地碱蓬后土壤盐分在剖面的分布发生明显变化,根区(0~40 cm)土壤含盐量随种植年限增加而下降,根底(40~120 cm)土壤则先增加后下降;Na+和Cl-因容易被水淋洗和植物选择性吸收多,根区土壤中Na+和Cl-含量随种植年限增加有显著降低,Ca2+和SO42-不易随水移动,淋洗程度低,HCO3-和Mg2+第2 a和第3 a的淋洗效果明显好于第1 a;经过3 a种植后土壤中毒害离子Na+与Cl-和在表层盐分组成中的比例下降,Ca2+比例上升,钠吸附比(SAR)值显著降低。

摘要： 以盐豇1号为试验材料,采用水培法研究不同浓度NaCl胁迫对豇豆幼苗不同器官离子分布的影响.结果表明,盐胁迫条件下,大量Na+进入幼苗体内,而抑制K+、Ca2+、Mg2+进入.盐胁迫下,幼苗根部和茎中存在较多的Na+,叶片中含量最低,但叶片和茎中Na+增幅较大,根系Na+增幅较小,避免根部Na+过多积累,可以维持豇豆根系活力缓解盐毒害.随着盐胁迫的加重,幼苗根部和茎的K+含量明显降低,叶片K+含量能保持稳定水平或有所上升,维持了较高的K+/Na+比值.NaCl处理后叶片中的Ca2+、Mg2+含量变化幅度较低;Ca2+/Na+和Mg2+/Na+比值均随盐浓度增加而降低,叶片中的Ca2+/Na+和Mg2+/Na+比值始终高于根和茎.综合看,盐胁迫影响豇豆幼苗各器官中的离子分布,Na+含量增加,K+、Ca2+、Mg2+含量降低;各组织中的K+/Na+、Ca2+/Na+和Mg2+/Na+比值随盐胁迫浓度增加而下降.

摘要： 本课题组在研究非正分钙钛矿结构锰氧化物(LnM)1-xMnO3(Ln=La,Nd,M=Sr,Ca等)的过程中，首先利用XRD峰强比确定主次相含量比，利用能量最低原理和晶体缺陷理论确定钙钛矿相的离子分布，然后再对材料的XRD谱进行Rietveld拟合。在研究(A)[B]2O4型尖晶石型结构铁氧体时，先利用本课题组提出的估算尖晶石铁氧体离子分布的量子力学势垒模型拟合样品在10K的磁矩，给出阳离子在(A),[B]位的分布，再进行Rietveld拟合。在这两类结构材料的Rietveld拟合过程中，都不改变样品的离子分布。这样的拟合过程减少了拟合参数，增加了拟合结果的可信度。

摘要： 海滨锦葵是集油料、饲料、观赏于一身的多用途、适合在沿海滩涂种植、可以进行大面积推八具有广阔前景的耐盐经济植物。基于我国国情，利用滩涂种植非粮作物发展耐盐生物能源是一条可取之道。因此有必要进行其抗盐生理的研究，了解其盐害机理和抗盐机理及其在植物抗盐性方面的重要作用，为抗盐育种和抗盐分子生物学研究提供生理基础。本文以海滨锦葵为研究对象,对海滨锦葵做NaCl处理,浓度分别为:0mmol/L,100mmol/L,200mmol/L,300mmol/L,旨在研究不同盐胁迫下,海滨锦葵不同部位的离子分布.结果表明:地上部分和根部的钠离子,氯离子的含量随着盐浓度的升高而逐渐升高;钾离子,硝酸根离子的含量都随盐处理浓度的升高而逐渐下降.

摘要： 本文针对陕西咸阳彩虹彩色显像管总厂玻璃分厂提供的样品，在玻壳离子钢化试验的基础上，对样品在处理前后的离子分布和强度变化进行了分析对比。

摘要： 本文提出掠射式椭偏谱学方法研究电化学体系的一个新型模型,能反映电极表面附近溶液层中离子分布的行为及离子浓度变化的规律.

摘要： 选取3种类型共6个甘薯品种(阜薯062-20、浙紫1号、徐薯18、白尾稍、烟薯25、徐菜1号),比较0和85mmol/LNaCl处理20d后,盐分对甘薯幼苗离子吸收和分配的影响.结果表明:盐胁迫抑制甘薯幼苗的生长,以阜薯062 20、浙紫1号、徐薯18受影响相对较轻.盐胁迫下植株大量积累Na+和Cl,并抑制Ca2+和K+的积累;地上部Na+、Cl的积累量明显高于根系.白尾稍、烟薯25、徐菜1号Na+和Cl含量显著高于其他品种.NaCl处理下,阜薯062-20、浙紫1号、徐薯18甘薯幼苗的K+/Na+略高于白尾稍、烟薯25、徐菜1号;品种间Ca2+/Na+差异不大,但阜薯062-20、浙紫1号、徐薯18Sca,Na较高.因此,6个甘薯品种中,阜薯062-20、浙紫1号、徐薯18苗期耐盐性表现更好.

摘要： 选取3种类型共6个甘薯品种(阜薯062-20、浙紫1号、徐薯18、白尾稍、烟薯25、徐菜1号),比较0和85mmol/LNaCl处理20d后,盐分对甘薯幼苗离子吸收和分配的影响.结果表明:盐胁迫抑制甘薯幼苗的生长,以阜薯062 20、浙紫1号、徐薯18受影响相对较轻.盐胁迫下植株大量积累Na+和Cl,并抑制Ca2+和K+的积累;地上部Na+、Cl的积累量明显高于根系.白尾稍、烟薯25、徐菜1号Na+和Cl含量显著高于其他品种.NaCl处理下,阜薯062-20、浙紫1号、徐薯18甘薯幼苗的K+/Na+略高于白尾稍、烟薯25、徐菜1号;品种间Ca2+/Na+差异不大,但阜薯062-20、浙紫1号、徐薯18Sca,Na较高.因此,6个甘薯品种中,阜薯062-20、浙紫1号、徐薯18苗期耐盐性表现更好.

摘要： 选取3种类型共6个甘薯品种(阜薯062-20、浙紫1号、徐薯18、白尾稍、烟薯25、徐菜1号),比较0和85mmol/LNaCl处理20d后,盐分对甘薯幼苗离子吸收和分配的影响.结果表明:盐胁迫抑制甘薯幼苗的生长,以阜薯062 20、浙紫1号、徐薯18受影响相对较轻.盐胁迫下植株大量积累Na+和Cl,并抑制Ca2+和K+的积累;地上部Na+、Cl的积累量明显高于根系.白尾稍、烟薯25、徐菜1号Na+和Cl含量显著高于其他品种.NaCl处理下,阜薯062-20、浙紫1号、徐薯18甘薯幼苗的K+/Na+略高于白尾稍、烟薯25、徐菜1号;品种间Ca2+/Na+差异不大,但阜薯062-20、浙紫1号、徐薯18Sca,Na较高.因此,6个甘薯品种中,阜薯062-20、浙紫1号、徐薯18苗期耐盐性表现更好.

摘要： 选取3种类型共6个甘薯品种(阜薯062-20、浙紫1号、徐薯18、白尾稍、烟薯25、徐菜1号),比较0和85mmol/LNaCl处理20d后,盐分对甘薯幼苗离子吸收和分配的影响.结果表明:盐胁迫抑制甘薯幼苗的生长,以阜薯062 20、浙紫1号、徐薯18受影响相对较轻.盐胁迫下植株大量积累Na+和Cl,并抑制Ca2+和K+的积累;地上部Na+、Cl的积累量明显高于根系.白尾稍、烟薯25、徐菜1号Na+和Cl含量显著高于其他品种.NaCl处理下,阜薯062-20、浙紫1号、徐薯18甘薯幼苗的K+/Na+略高于白尾稍、烟薯25、徐菜1号;品种间Ca2+/Na+差异不大,但阜薯062-20、浙紫1号、徐薯18Sca,Na较高.因此,6个甘薯品种中,阜薯062-20、浙紫1号、徐薯18苗期耐盐性表现更好.

摘要： 中国北方冬季降雪比较频繁，大量的降雪给交通带来极大的不便。人力、机械除雪，效率较低、消耗人力物力人，使用融雪剂除雪效率高、见效快，但同时大量融雪剂的使用也会能给环境带来了新的污染。rn 本文结合国内外相关研究进展，探讨了化学融雪剂这一新型城市污染物在中国北方城市生态环境中的化学迁移及转化规律；化学融雪剂使用后城市主要交通干道残雪中Na+、Ca2+、Mg2+、K+等主要阳离子空间分布特征，以及其对城市近郊主要农作物及冷季型草坪草种了萌发的影响；同时以城市常用绿化树种为试验材料，分析了其对植物生长、生理生态、离子吸收及运输的影响；预测了融雪剂对城市土壤环境及其对地下水的潜在危害，以期为中国融雪剂的科学合理使用及评价融雪剂的环境危害性提供科学依据，促进经济与环境的和谐发展。

摘要： 中国北方冬季降雪比较频繁，大量的降雪给交通带来极大的不便。人力、机械除雪，效率较低、消耗人力物力人，使用融雪剂除雪效率高、见效快，但同时大量融雪剂的使用也会能给环境带来了新的污染。rn 本文结合国内外相关研究进展，探讨了化学融雪剂这一新型城市污染物在中国北方城市生态环境中的化学迁移及转化规律；化学融雪剂使用后城市主要交通干道残雪中Na+、Ca2+、Mg2+、K+等主要阳离子空间分布特征，以及其对城市近郊主要农作物及冷季型草坪草种了萌发的影响；同时以城市常用绿化树种为试验材料，分析了其对植物生长、生理生态、离子吸收及运输的影响；预测了融雪剂对城市土壤环境及其对地下水的潜在危害，以期为中国融雪剂的科学合理使用及评价融雪剂的环境危害性提供科学依据，促进经济与环境的和谐发展。

摘要： 本发明公开了一种能检测离子束流在聚焦情况下的束斑剖面密度分布、扫描情况下的束均匀性分布的阵列式复合型法拉第杯，包括：中心位置一个二维法拉第杯阵列(2)，两侧位置各一个一维法拉第阵列(4)。其特征在于：中心位置的二维法拉第杯阵列(2)用于检测离子束在聚焦情况下(5)束斑剖面的密度分布；两侧位置的一维法拉第杯阵列(4)用于检测离子束在扫描情况下(6)束均匀性分布。本装置可以实时检测离子束的分布及状态变化，提高检测的实时性及精确性。

摘要： 本发明涉及一种基于线性离子阱梯度隔离策略的离子构象分布表征方法，S1，产生目标物离子；S2，将离子隔离，设定线性离子阱的初始隔离宽度；S3，获得初始隔离宽度下的信号强度值；S4，缩小隔离宽度，再次检测，获得对应隔离宽度下的信号强度值；S5，多次重复步骤S4，直至隔离宽度缩小至定值或小于定值时停止重复；S6，获得相对信号强度；S7，对相对信号强度取对数值，并将所得的对数值对相应的隔离宽度作图，得到最终谱图。该方法将目标离子隔离在线性离子阱中，通过改变隔离宽度，使具有不同构象的离子随着隔离宽度缩小顺次逐出离子阱，对在不同隔离宽度下留在阱中的离子数量进行测量汇总成谱图。由此，便获得了目标离子的构象分布图。

摘要： 本发明公开了一种能检测离子束流在聚焦情况下的束斑剖面密度分布、扫描情况下的束均匀性分布的阵列式复合型法拉第杯，包括：中心位置一个二维法拉第杯阵列(2)，两侧位置各一个一维法拉第阵列(4)。其特征在于：中心位置的二维法拉第杯阵列(2)用于检测离子束在聚焦情况下(5)束斑剖面的密度分布；两侧位置的一维法拉第杯阵列(4)用于检测离子束在扫描情况下(6)束均匀性分布。本装置可以实时检测离子束的分布及状态变化，提高检测的实时性及精确性。

摘要： 本发明提供一种检测装置、离子植入设备及离子束剖面的离子浓度分布的可视化方法，检测装置用于检测离子束剖面方向的离子浓度分布，包括：检测屏，所述检测屏能够接收所述离子束辐照的一侧涂布有磷光材料；和处理器，与所述检测屏电性连接，能够根据所述磷光材料因接收所述离子束辐照而产生的磷光响应，获得所述离子束剖面的离子浓度分布，利用磷光材料在电磁辐射和离子射线激发下能发出磷光的特性，根据磷光材料因接收离子束辐照而产生的磷光响应，获得离子束剖面的离子浓度分布，其结构简单，且能够获得直观的磷光响应图像以供分析或计算，为离子束剖面的离子浓度分布检测提供了便利。

摘要： 本文考虑用于增强离子能量的方法和设备。在一个实施例中，方法和装置包括控制器、具有经配置成处理晶片的对称等离子体源的工艺腔室、耦合至工艺腔室以产生等离子体密度的一个或多个特高频(VHF)源以及两个或更多个频率发生器，所述两个或更多个频率发生器相对于耦合至工艺腔室的底部电极的一个或多个VHF源产生低频，两个或更多个低频发生器经配置成耗散等离子体鞘中的能量，其中控制器控制一个或多个VHF源产生VHF信号且控制两个或更多个低频源产生两个或更多个低频信号。

摘要： 本公开的离子源包括用于改变离子源的排放空间内的等离子体的分布的一个或多个电磁体。所述电磁体中的至少一个定向成围绕所述离子源的管状侧壁的外周并且改变所述排放空间的边缘区域中的等离子体的分布。

摘要： 公开了具有均匀磁场分布的自适应耦合等离子体源。该自适应耦合等离子体源包括：在反应室的中心区域设置于反应室上方的平板形衬套；多个上部线圈，从所述衬套伸出以被设置于该反应室的上方，以便螺旋状地围绕所述衬套；以及在所述反应室侧壁部分的周围设置以围绕该反应室的多个侧部线圈。

摘要： 在此公开了一种可以在反应室中产生等离子体以加工半导体晶片的等离子体源。该等离子体源包括配备在该反应室的上中央的衬套、以及从该衬套线性地延伸到该反应室的边缘的多个源线圈。利用该线性源线圈，可以防止径向方向上的从该等离子体源的中央到该等离子体源的边缘的磁场偏差，导致易于控制在该反应室的中央和该反应室的边缘的临界尺度和均匀的蚀刻速率。

摘要： 本发明提供一种基于进气分布控制的等离子体密度分布调控方法，利用对等离子体放电密度分布的实时监测反馈，对进气气流分布进行即时调控，从而调控等离子体密度分布乃至等离子体放电状态。该发明可以实时、精确调控等离子体放电状态，获得需要的等离子体密度分布，或者基于闭环控制维持稳定的等离子体放电状态。调控原理简单，易于实现，适用于半导体行业等离子体均匀去除或者光学加工领域的等离子体稳定去除工艺。

摘要： 本发明提供了一种离子源、离子注入设备及离子源的离子分布调整方法，所述离子源包括：腔室；多个放电部件，设置在腔室内，用于在加载电信号之后产生电子；加速电极，设置在腔室内，用于与放电部件之间产生电场，以对电子加速；磁场产生部件，设置在腔室上，用于在腔室内产生磁场；气体引入部，用于向腔室内引入气体，以与电子碰撞产生离子；及，离子引出部，用于将腔室内的离子引出；离子源还包括：移动机构，放电部件通过移动机构以可移动地方式设置在腔室内。本发明提供的离子源、离子注入设备及离子源的离子分布调整方法能够节省灯丝寿命，节约费用，提升离子束电流密度均一性和稳定性。