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XPS研究溅射氩气压对玻璃基DyFeCo/AlN磁光记录薄膜成分的影响

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用X射线光电子能谱(XPS)研究了射频磁控溅射法在玻璃基表面上制备的DyFeCo/AlN磁光记录薄膜的表面成分随溅射氩气压的变化关系。

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来源
《中国稀土学会第四届学术年会》|2000年|716-720|共5页
会议地点北京
作者
赵青南; 赵修建; 熊锐; 李佐宜;
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作者单位

中国稀土学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
镝铁钴; 磁光记录薄膜; 表面成分; AIN保护层;

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