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首页> 外文会议>Conference on MOEMS and Miniaturized Systems Ⅱ Oct 22-24, 2001, San Francisco, USA >MEMS spatial light modulators with integrated electronics
【24h】

MEMS spatial light modulators with integrated electronics

机译：集成电子器件的MEMS空间光调制器

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The design and development of a microelectromechanical, micromachined spatial light modulator (μSLM) with complementary metal-oxide semiconductor (CMOS) electronics, for control of optical phase in phase-only optical correlators is presented in this paper. A large array of piston-motion MEMS mirror segments make up the μSLM. Each mirror segment will be capable of altering the phase of reflected light by up to one wavelength for infrared illumination (λ = 1.5 μm). The mirror segments, or pixels, are fabricated from metal in a low temperature process allowing for vertical integration of the μSLM with CMOS based, 8-bit, control electronics. Proof-of-concept results, a proposed fabrication process and, preliminary process development results are also presented.
机译：本文介绍了一种具有互补金属氧化物半导体（CMOS）电子器件的微机电，微机械空间光调制器（μSLM）的设计和开发，该电子器件用于控制仅相位光学相关器中的光学相位。大量的活塞运动MEMS反射镜段构成了μSLM。每个反射镜段都能够将反射光的相位最多改变一个波长以进行红外照明（λ= 1.5μm）。反射镜段或像素是在低温工艺中由金属制成的，从而可以将μSLM与基于CMOS的8位控制电子器件进行垂直集成。还提供了概念验证结果，拟议的制造工艺以及初步的工艺开发结果。

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