• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文会议>Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems >MEMS spatial light modulators with integrated electronics
【24h】

MEMS spatial light modulators with integrated electronics

机译：MEMS具有集成电子产品的空间光调制器

获取原文
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

The design, fabrication, and preliminary test results of a microelectromechanical, micromachined spatial light modulator (μSLM) with complementary metal-oxide semiconductor (CMOS) electronics, for control of optical phase is presented in this paper. An array of 32 x 32 piston-motion MEMS mirror segments make up the μSLM. Each mirror segment will be capable of altering the phase of reflected light by up to one wavelength for infrared illumination (? = 1.5 μm). The mirror segments are fabricated from metal in a low temperature process allowing for vertical integration of the μSLM with CMOS based, multi-bit, control electronics. The surface of the CMOS is planarized to facilitate μSLM-CMOS integration. The fabrication process and process development results, test results, including frequency response and electromechanical characterization of the (μSLM) actuators, will be presented.
机译：本文介绍了具有互补金属 - 氧化物半导体（CMOS）电子的微机电，微机电，微机电的空间光调制器（μSLm）的设计，制造和初步测试结果，用于控制光学相位。阵列32 x 32活塞运动MEMS镜段构成μslm。每个镜面段将能够通过最多改变反射光的相位到达一个波长的红外照明（？=1.5μm）。镜子段由低温过程中的金属制成，允许μSLM与基于CMOS的多级控制电子设备的垂直积分。平面化CMO的表面以促进μSLM-CMOS集成。将呈现制造过程和过程的开发结果，呈现测试结果，包括（μSLM）致动器的频率响应和机电表征，将呈现。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号