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首页> 外文会议>Micromachining Technology for Micro-Optics and Nano-Optics IV >New nanofabrication technique using overlay for 15-nm zone plate
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New nanofabrication technique using overlay for 15-nm zone plate

机译：使用覆盖层的15纳米区板的新纳米加工技术

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Soft x-ray zone plate microscopy has proven to be a valuable imaging technique for nanoscale studies. It complements nano-analytic techniques such as electron and scanning probe microscopies, and offers a unique set of capabilities including high spatial resolution, natural elemental/chemical and magnetic sensitivities, large permissible sample thickness, and a myriad of in-situ sample environments. In this paper, a new zone plate fabrication technique based on overlaying complementary, semi-dense patterns is described. The new technique permits zone plates with sub-20 run zones, which are extremely challenging for conventional fabrication processes, to be fabricated. With the new technique, zone plates of 15 nm outermost zone width were successfully fabricated for the first time, yielding a spatial resolution better than 15 nm. Zone plates of 10 nm outer zones, as well as 3-D zone plate structures, which cannot be fabricated using conventional zone plate fabrication processes, are anticipated with the overlay technique.
机译：软X射线波带片显微镜已被证明是用于纳米级研究的有价值的成像技术。它是对纳米分析技术（例如电子显微镜和扫描探针显微镜）的补充，并提供了一套独特的功能，包括高空间分辨率，自然元素/化学和磁敏感度，允许的大样品厚度以及无数的原位样品环境。在本文中，描述了一种基于覆盖互补的半致密图案的新型波带片制造技术。新技术允许制造具有20个以下运行区的带状区带，这对常规制造工艺而言是极具挑战性的。利用新技术，首次成功制造了最外层区域宽度为15 nm的区域板，其空间分辨率优于15 nm。利用覆盖技术预期了不能使用常规的波带片制造工艺制造的10nm外部区域的波带片以及3-D波带片结构。

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