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抗辐射高压SOI埋氧总剂量效应研究

     

摘要

研究了抗辐射高压SOI埋氧总剂量加固技术,发现在总剂量辐射条件下不同埋氧加固工艺背栅阈值变化的情况.通过增加埋氧加固技术可以有效地抑制总剂量辐射环境下对高压器件的调制效应.

著录项

  • 来源
    《电子与封装》|2019年第1期|41-4347|共4页
  • 作者单位

    中国电子科技集团公司第五十八研究所,江苏无锡214072;

    中国电子科技集团公司第五十八研究所,江苏无锡214072;

    中国电子科技集团公司第五十八研究所,江苏无锡214072;

    中国电子科技集团公司第五十八研究所,江苏无锡214072;

    中国电子科技集团公司第五十八研究所,江苏无锡214072;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 可靠性及例行试验;
  • 关键词

    埋氧; 总剂量; 加固;

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