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栾桂冬;
北京大学信息科学技术学院 北京 100871;
微机械; 电容; 超声换能器;
机译:MEMS电容微机械超声换能器的鲁棒控制方法
机译:新型6 x 6元件MEMS电容式超声换能器,具有多个移动膜,适用于高性能成像应用
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机译:使用Mems进行结构健康监测演示的声发射传感:一种新型设计的电容式微机械超声换能器
机译:使用多用户MEMS工艺进行压电微机械超声换能器(PMUT)的医学成像设计与建模
机译:RF MEMS开关和开关电路:RF MEMS开关的建模以及RF MEMS电容式开关和MEMS可调滤波器的开发
机译:基于mEms的pVDF超声换能器的血管成像设计与分析
机译:电容性MEMS器件,电容性MEMS声音换能器,形成电容性MEMS器件的方法以及操作电容性MEMS器件的方法
机译:电容性MEMS器件,电容性MEMS换能器,形成电容性MEMS器件的方法和用于操作电容性MEMS器件的方法
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