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MEMS ultrasonic transducers for the testing of solids

机译：MEMS超声换能器，用于固体测试

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Arrays of capacitive diaphragm ultrasonic transducers could potentially be used for non-destructive ultrasonic testing and structural monitoring. In this paper, we consider the efficiency of coupling of these transducers to solid media. We show that efficient coupling can be realized by using a silicone coating as a coupling medium. We present the results of experimental characterization of ultrasonic transducers coupled to solids in this way. We show that these transducers can be used with piezoelectric emitting transducers within the range from 1 to 5 MHz, and we demonstrate the use of several transducers as a phased array to determine the direction and distance of an ultrasonic source.
机译：电容膜片式超声换能器阵列可以潜在地用于无损超声测试和结构监测。在本文中，我们考虑了这些传感器与固体介质耦合的效率。我们表明，可以通过使用有机硅涂层作为耦合介质来实现有效的耦合。我们介绍了以这种方式耦合到固体的超声换能器的实验表征结果。我们证明了这些换能器可以与1至5 MHz范围内的压电发射换能器一起使用，并且我们展示了使用多个换能器作为相控阵来确定超声源的方向和距离。

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