首页> 中国专利> 用于a-Si单结和多结薄膜硅太阳能电池的改进的a-Si:H吸收层

用于a-Si单结和多结薄膜硅太阳能电池的改进的a-Si:H吸收层

摘要

本发明涉及一种用于制造薄膜太阳能电池的方法,包括以下顺序的步骤:a)沉积正掺杂的硅层(3),b1)以第一沉积速率沉积第一本征a-Si:H层(21),b2)以第二沉积速率沉积第二本征a-Si:H层(22),以及c)沉积负掺杂的硅层(5),其中,所述第二沉积速率大于所述第一沉积速率。制造的薄膜太阳能电池的特征是:提高了初始效率和稳定效率,同时将总体沉积速率(即便是沉积两个不同的本征层(21、22)的总体沉积速率)保持在合理的和经济的水平。

著录项

  • 公开/公告号CN103238219A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2013-08-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 东电电子太阳能股份公司;

    申请/专利号CN201180055325.4

  • 申请日2011-11-14

  • 分类号H01L31/0376;H01L31/20;

  • 代理机构北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人孙皓晨

  • 地址 瑞士特吕巴赫

  • 入库时间 2024-02-19 19:37:31

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-08-31

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L31/0376 申请公布日:20130807 申请日:20111114

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2013-12-11

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/0376 申请日:20111114

    实质审查的生效

  • 2013-08-07

    公开

    公开

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