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第一基板的第一膜层的检测系统及利用其的检测方法

摘要

本发明公开了一种第一基板的第一膜层的检测系统及利用其的检测方法。检测系统包括:线光源和光敏装置,所述线光源用于向所述光敏装置发射检测光,所述光敏装置用于接收检测光且转换成光敏信号;其中,检测光可透过所述第一基板;传送装置,用于传送所述第一基板使之通过检测区域,其中,所述检测区域是检测光和所述传送装置在传送第一基板时第一基板所在平面相交的区域;处理单元,用于根据所述第一基板在通过检测区域期间的所述光敏信号的强度是否均在预设范围内,判断所述第一膜层是否符合要求。利用上述检测系统的检测方法。与现有技术相比,本发明的检测系统及利用其的检测方法加快了检测第一基板的第一膜层的检测速度。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-10-09

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G02F1/13 申请公布日:20150610 申请日:20150330

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2015-07-08

    实质审查的生效 IPC(主分类):G02F1/13 申请日:20150330

    实质审查的生效

  • 2015-06-10

    公开

    公开

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