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公开/公告号CN108700826A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-10-23
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;泛林集团;
申请/专利号CN201780012610.5
发明设计人 M·库比斯;M·乔彻姆森;R·S·怀斯;N·莎玛;G·A·迪克西特;L·瑞亚南;E·M·维亚基纳;M·卢卡;J·C·H·姆肯斯;
申请日2017-02-16
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人王茂华;吕世磊
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2023-06-19 06:55:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-16
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20170216
实质审查的生效
2018-10-23
公开
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