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Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA
Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA
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1.
Chemical Vapor Deposition of High Precision Optical Coatings
机译:
高精度光学镀膜的化学气相沉积
作者:
M.L. Hitchman
;
S.H. Shamlian
;
D.R. Gibson
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
low-pressure CVD;
optical coatings optical coating equipment;
micro-optics;
2.
Vacuum Coated Layers Measure and Control: Innovations for Web Coating Applications
机译:
真空涂层的测量和控制:Web涂层应用的创新
作者:
M. Lasagni
;
A. Colombo
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
web coating application;
web coating process monitoring film thickness/mass monitors (in situ);
film thickness;
3.
Varian Inc.'s New Turbo-V 2K-G Turbomolecular Vacuum Pump for Thin Film Deposition
机译:
瓦里安公司的新型Turbo-V 2K-G涡轮分子真空泵,用于薄膜沉积
作者:
W. Vissers
;
B. Foley
;
S. Palmer
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
turbomolecular pump;
4.
The Use of Titanium Dioxide Coatings Deposited by APCVD on Glass Substrates to Provide Dual Action and Self Cleaning
机译:
APCVD在玻璃基板上沉积的二氧化钛涂层的使用可提供双重作用和自清洁
作者:
K.D. Sanderson
;
A. Mills
;
I. Parkin
;
S. Hurst
;
A. Lepre
;
I. McKittrick
;
D.Rimmer
;
L. Ye
;
S. ONeill
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
hydrophilic;
CVD hydrophobic;
coatings;
5.
Substrate Biasing in Pulsed DC Reactive Sputtering of Dielectrics
机译:
电介质的脉冲直流无功溅射中的衬底偏置
作者:
A. Freilich
;
A. Belkind
;
K. Becker
;
J. Lopez
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
pulse bias;
reactive sputtering pulse power;
dielectrics;
6.
Tailoring of Ag Thin Films for Solar Control and Transparent Conductive Coatings
机译:
定制用于阳光控制和透明导电涂层的Ag薄膜
作者:
C. Charton
;
M. Fahland
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
solar control;
transparent conductive coatings ag films;
pulsed sputtering;
7.
Simulation and Verification of Defect-Dominated Permeation Mechanisms in Multiple Structures of Inorganic and Polymeric Barrier Layers
机译:
无机和聚合物阻隔层多种结构中缺陷主导的渗透机理的模拟和验证
作者:
M. Hanika
;
H.-C. Langowski
;
W.Peukert
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
polymer substrates;
permeation barrier coatings;
polymer base coats;
pinholes/porosity;
8.
Static Mode Hollow Cathode Reactive Sputtering
机译:
静态模式空心阴极反应溅射
作者:
A.A. Pradhan
;
S.I. Shah
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
reactive deposition;
sputter deposition sputter cleaning;
titania;
9.
Plasma Deposition of Diamond-Like Protective Coating with Silicon Oxide Content
机译:
等离子沉积含氧化硅含量的类金刚石防护涂层
作者:
P. Dvorak
;
L. Zajickova
;
V. Bursikova
;
M. Valtr
;
J. Houdkova
;
V. Perina
;
A. Mackova
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
wear-abrasion-resistant coatings;
stability properties plasma-enchanced CVD;
residual film stress;
10.
Pulse Packet Switching for Reactive Magnetron Sputtering-A New Method to Control the Process
机译:
无功磁控溅射的脉冲包交换-一种控制过程的新方法
作者:
R. Nyderle
;
T. Winkler
;
R. Labitzke
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
power supplies;
reactive sputter deposition arcing;
silicon oxide (SiO_2);
11.
Property Control of Transparent Conducting Oxides
机译:
透明导电氧化物的性能控制
作者:
J.L. Linden
;
A.M.B. van Mol
;
C.P.G. Schrauwen
;
R. Groenen
;
M.C.M. van de Sanden
;
A.D. Kuypers
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
transparent/conductive coatings;
atmospheric pressure CVD plasma-enhanced CVD;
roughness control;
12.
Resistivity and Microstructure Issues in Indium-Oxide Based Films Grown by RF Magnetron Sputtering on Flexible Polyester Substrates
机译:
射频聚酯磁控溅射在柔性聚酯基板上生长的氧化铟基薄膜的电阻率和微观结构问题
作者:
P.F. Carcia
;
R.S. McLean
;
M.H. Reilly
;
Z.G. Li
;
L.J. Pillione
;
R.F. Messier
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
sputter deposition;
indium-tin oxide indium-oxide;
polyester substrates;
13.
Recent Developments in Spectroscopic Ellipsometry for Materials and Process Control
机译:
用于材料和过程控制的光谱椭偏仪的最新进展
作者:
J.N. Hilfiker
;
B. Johs
;
J. Hale
;
C.M. Herzinger
;
T.E. Tiwald
;
C.L. Bungay
;
R.A. Synowicki
;
G.K. Pribil
;
J.A. Woollam
;
J.A. Woollam
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
monitoring (in-situ);
index of refraction web coating process monitoring;
film thickness;
14.
Power System Requirements for Enhanced Mid-Frequency Process Stability
机译:
电力系统对增强中频过程稳定性的要求
作者:
D.J. Christie
;
E.A. Seymour
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
sputter deposition;
reactive deposition power supplies;
partial pressure control;
15.
Plasma Surface Technologies in Germany
机译:
德国等离子表面技术
作者:
R. Fellenberg
;
G. Braeuer
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
plasma surface engineering;
tribological coatings pulse magnetron sputtering;
technology transfer;
16.
Plasma Parameters During Thin Film Deposition
机译:
薄膜沉积过程中的等离子体参数
作者:
H. Baecker
;
J.W. Bradley
;
P.S. Henderson
;
P.J. Kelly
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
plasma source;
film characterization sputter deposition;
plasma characterization;
17.
Microstructure of SiO_2/TiO_2 Coatings and Their Use in Graded-Index Optical Filters
机译:
SiO_2 / TiO_2涂层的微观结构及其在梯度折射率滤光片中的应用
作者:
S. Larouche
;
H. Szymanowski
;
A. Amassian
;
J.E. Klemberg-Sapieha
;
L. Martinu
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
silica/titania mixtures;
plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) graded-index optical filters;
real-time in-situ monitoring;
18.
Multilayer Coating Technologies for Extreme Ultraviolet Lithography Applications
机译:
用于极端紫外线光刻的多层涂层技术
作者:
C. Montcalm
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
ion beam sputtering;
ion sources extreme ultraviolet (EUV) coatings;
mirror coatings;
19.
New Plasma Source for Assisted Reactive Evaporation and IBAD Applications
机译:
辅助反应蒸发和IBAD应用的新型等离子体源
作者:
J. Madocks
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
ion source;
plasma source ion-assisted deposition;
reactive deposition;
20.
New Hybrid Source with Microwave and Hollow Cathode Plasma
机译:
具有微波和空心阴极等离子体的新型混合源
作者:
L. Bardos
;
H. Barankova
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
hollow cathode;
hybrid plasma microwave ECR plasma;
titanium nitride;
21.
New Design of Plasma Technique and Processes with Medium-Pressure Microwave Plasma
机译:
等压微波等离子体技术和工艺的新设计
作者:
H. Sung-Spitzl
;
R. Spitzl
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
plasma-enhanced CVD;
plasma source atmospheric plasma;
microwave plasma;
22.
Methods for Improving Accuracy of Optical Coating Analysis from Spectrophotometric Measurements
机译:
分光光度法提高光学镀膜分析精度的方法
作者:
J.C. Zwinkels
;
M. Noeel
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
standards;
optical reflectivity AR coatings;
mirror coatings;
23.
A Systematic Study of the Properties of the Zr-C-N Ternary System, Deposited by Reactive Arc Evaporation
机译:
反应性电弧蒸发沉积Zr-C-N三元体系性质的系统研究
作者:
M. Eerden
;
W. van Ijzendoorn
;
R. Tietema
;
G.J. van der Kolk
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
arc vaporization;
reactive deposition Zr-CN;
24.
A Study of an Ionized Magnetron Source by Pulsed Absorption Spectroscopy
机译:
电离磁控管源的脉冲吸收光谱研究
作者:
S. Konstantinidis
;
A. Ricard
;
M. Ganciu-Petcu
;
J.-P. Dauchot
;
M. Hecq
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
ionized magnetron;
pulsed absorption spectroscopy;
25.
An Application of RF Plasma to the Surface Modification of Powdered Materials: Hydrophobization of Potato Starch
机译:
射频等离子体在粉末材料表面改性中的应用:马铃薯淀粉的疏水化
作者:
M. Kaczmarek
;
M. Gazicki-Lipman
;
L. Klimek
;
H. Szymanowski
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
plasma-enhanced CVD;
hydrophobization powdered starch substrate;
vacuum system construction;
26.
Bandpass Filters for 40 Gbit/sec
机译:
带通滤波器,每秒40 Gbit
作者:
D. Cushing
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
narrow band filter coatings;
group delay WDM filter;
chromatic dispersion;
27.
Characterizations of Electron Beam-Generated Plasmas
机译:
电子束产生等离子体的表征
作者:
S.G. Walton
;
D. Leonhardt
;
R.F. Fernsler
;
R.A. Meger
;
D.D. Blackwell
;
C. Muratore
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
plasma source;
hollow cathode electron beam source;
pulsed plasma;
28.
Cohesive Strength and Oxygen Permeability of PECVD-Based Coatings on Semicrystalline Polymers
机译:
半结晶聚合物上PECVD基涂层的内聚强度和透氧性
作者:
G. Rochat
;
J. Bouchet
;
Y. Leterrier
;
J.-A.E. Manson
;
S. Robert
;
P. Fayet
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
plasma-enhanced CVD;
permeation barrier coatings adhesion and cohesion;
novel hybrid coatings;
29.
Control of the Reactive Sputtering Process Using Two Reactive Gases
机译:
使用两种反应气体控制反应溅射过程
作者:
W.D. Sproul
;
D.J. Christie
;
D.C. Carter
;
S. Berg
;
T. Nyberg
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
sputter deposition;
reactive deposition partial pressure control;
vacuum system instrumentation and control;
30.
Design of Multi-Band Square Band Pass Filters
机译:
多频带方带通滤波器的设计
作者:
D. Morton
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
optical coating design;
narrow band filter coatings impedance matching;
square band pass filter coatings;
31.
Deposition of SnO_2 Coatings Using a Rectangular Filtered Vacuum Arc Source
机译:
使用矩形过滤真空电弧源沉积SnO_2涂层
作者:
R.L. Boxman
;
V. Zhitomirsky
;
S. Goldsmith
;
T. David
;
V. Dikhtyar
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
filtered vacuum arc deposition;
conductive transparent oxide SnO_2;
in-line deposition system;
32.
Development of Antireflection Coatings Using Microwave Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
机译:
利用微波等离子体增强化学气相沉积技术开发抗反射涂层
作者:
C.A. Outten
;
A. Haeri
;
P. Mounier
;
J. Jones
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
AR coatings;
plasma source optical coating equipment;
web coating applications;
33.
Durable Ultra-Hydrophobic Glass Coatings With Optical Quality
机译:
具有光学品质的耐用超疏水玻璃涂层
作者:
K. Reihs
;
N. Malkomes
;
P. Mueller
;
S. Renker
;
O. Stahlschmidt
;
R. Claessen
;
P. Cavaleiro
;
A. Duparre
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
hydrophobic coatings;
PVD optical coatings;
duplex coating;
34.
Emergent Technologies for Large Area PVD Coating of Metal Strips
机译:
金属带大面积PVD涂层的新兴技术
作者:
Chr. Metzner
;
B. Scheffel
;
J.-P. Heinss
;
F.-H. Roegner
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
plasma activated evaporation;
metal strips arc discharge;
corrosion-resistant coatings;
35.
Dissection of the Planar Magnetron Discharge
机译:
平面磁控管放电的解剖
作者:
G. Buyle
;
D. Depla
;
K. Eufinger
;
J. Haemers
;
R. De Gryse
;
W. De Bosscher
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
sputter deposition;
plasma simulation DC magnetron plasma;
pressure dependence;
36.
Ex-Situ Ellipsometric Studies of Ag-Films Using the UV Regime of the ψ-Spectra
机译:
使用ψ光谱的UV体制对银膜进行异位椭偏研究
作者:
J.-P. Mueller
;
G. Neuman
;
V.S. Veerasamy
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
ag films;
ellipsometry ultraviolet;
ψ-spectra;
37.
Foundations of Vacuum Coating Technology: the Stories Behind the Facts
机译:
真空镀膜技术的基础:事实背后的故事
作者:
D.M. Mattox
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
history;
vacuum coating history;
PVD;
38.
Ga-Doped ZnO Thin Films by DC Magnetron Sputtering Using H_2/Ar Gas
机译:
H_2 / Ar气体直流磁控溅射Ga掺杂ZnO薄膜
作者:
S. Takeda
;
M. Fukawa
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
GZO;
magnetron sputtering hydrogen;
SIMS;
39.
High Rate Reactive Deposition of Titania from Rotating Cylindrical Magnetrons with Plasma Emission Monitoring
机译:
等离子体辐射监测旋转圆柱磁控管中二氧化钛的高速率反应沉积
作者:
P. Greene
;
J. Rietzel
;
S. Nadel
;
J. Struempfel
;
C. May
;
G. Teschner
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
sputter deposition;
reactive deposition TiO_2;
optical emission monitoring;
40.
High Rate PECVD Source for Flexible Substrates
机译:
用于柔性基板的高速率PECVD源
作者:
J. Madocks
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
plasma-enhanced CVD;
plasma polymerization wear-abrasion-resistant coatings;
permeation barrier coatings;
41.
Improving Rate Control in Electron-Beam Evaporated Optical Coatings
机译:
改善电子束蒸发光学镀膜的速率控制
作者:
M. Gevelber
;
B. Xu
;
N. Duanmu
;
D. Smith
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
electron beam ion-assisted deposition;
process control deposition rate control;
optical coating quality;
42.
Integrated Process Control for Reactive Sputter Deposition of Dielectric Thin Films
机译:
介电薄膜反应溅射沉积的集成过程控制
作者:
D. Carter
;
W.D. Sproul
;
D. Christie
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
reactive sputtering;
process control pulsed-DC power;
dielectric deposition;
43.
Initial Capability of New Photomask-Blank Deposition Tool
机译:
新型光掩模空白沉积工具的初始功能
作者:
M.D. Kriese
;
J.L. Wood
;
J.R. Rodriguez
;
G. Fournier
;
D.L. Thompson
;
D. Mercer
;
J.A. Gass
;
D.E. Mauldin
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
photomask blank;
ion sputtering multilayer films;
EUV;
44.
Investigating the Effect of Ion Flux and Electron Temperature for Plasma Polymerization of Acrylic Acid
机译:
研究离子流和电子温度对丙烯酸等离子体聚合的影响
作者:
M. Dhayal
;
M.R. Alexander
;
J.W. Bradley
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
tailored plasma;
plasma polymerization electron energy distribution function;
film characterization;
45.
Influence of Steering Magnetic Field on the Composition and Intensity of the Ion Flux Generated in Arc Discharges
机译:
转向磁场对电弧放电中离子通量的组成和强度的影响
作者:
A.P. Ehiasarian
;
P.E. Hovsepian
;
R. New
;
W.-D. Muenz
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
arc vaporization;
plasma source sputter cleaning;
adhesion;
46.
Linear Anode-Layer Ion Sources with 340- and 1500-mm Beams
机译:
带有340和1500 mm束的线性阳极层离子源
作者:
D. Burtner
;
R. Blacker
;
J. Keem
;
D. Siegfried
;
E. Wahlin
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
ion source;
ion beam sputtering ion beam-assisted deposition;
ion-assisted deposition;
47.
Magnetron as Cathode-Neutralizer for Ion Source in Ion-Assisted Operation
机译:
磁控管作为离子辅助操作中离子源的阴极中和剂
作者:
V.V. Zhurin
;
H.R. Kaufman
;
J.R. Kahn
;
K.A. Thompson
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
magnetron;
ion-assisted deposition ion source;
electron source;
48.
Micro- and Nano-structured Materials for Active Devices and Molecular Electronics
机译:
有源器件和分子电子学的微纳结构材料
作者:
P.M. Martin
;
G.L. Graff
;
M.E. Gross
;
P.E. Burrows
;
W.D. Bennett
;
E. Mast
;
M.J. Hall
;
C.C. Bonham
;
M. Zumhoff
;
R. Williford
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
barrier coating;
nanotechnology polymer;
diffusion;
49.
Mechanical Properties of Transparent Functional Thin Films for Flexible Displays
机译:
柔性显示器用透明功能薄膜的机械性能
作者:
Y. Leterrier
;
C. Fischer
;
L. Medico
;
F. Demarco
;
J.-A. E. Manson
;
P.C.P. Bouten
;
J. de Goede
;
G. Nisato
;
J.A. Nairn
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
flexible polymer-based displays;
permeation barrier coatings transparent conductive coatings;
adhesion;
50.
Ultrabarrier Protective Coatings for Atmospherically Sensitive Thin-Film Electronic Devices
机译:
用于大气敏感的薄膜电子设备的超阻隔保护涂层
作者:
M.E. Gross
;
P.M. Martin
;
L.C. Olsen
;
G.L. Graff
;
P.E. Burrows
;
C.C. Bonham
;
W.D. Bennett
;
P.L. Rissmiller
;
E.L. Dudeck
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
ultrabarrier;
photovoltaic calcium;
multilayer;
51.
Vacuum Surface Functionalization of Paper and Woven or Nonwoven Materials
机译:
纸和机织或非织造材料的真空表面功能化
作者:
A. Yializis
;
M.G. Mikhael
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
fiber-based coatings;
vacuum polymer deposition oleophobic monomers;
hydrophobic monomers;
52.
Variable Duty Cycle Pulsed Discharges to Control Coating Compositions During RF Plasma Polymerizations
机译:
可变占空比脉冲放电以控制RF等离子体聚合过程中的涂层成分
作者:
J. Cho
;
R.B. Timmons
;
H. Qiu
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
RF plasmas;
polymerizations film chemistry;
pulsed;
53.
Throwing- and Covering-Power Assessment: PVD Application
机译:
投掷和覆盖功率评估:PVD应用
作者:
K. Brondum
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
throwing power;
covering power Cr;
Ni;
Zr;
ZrN;
TiAION;
54.
Thermal Stress in Antireflective Coatings on Polymer Substrates
机译:
聚合物基材上抗反射涂层的热应力
作者:
U. Schulz
;
N. Kaiser
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
polymer substrates;
residual film stress AR coatings;
ion-assisted deposition;
55.
The Effects of Process Variations on Color Control Coatings
机译:
工艺变化对色彩控制涂层的影响
作者:
I. Stevenson
;
G. Sadkhin
;
J. DiPaolo
;
J. Kruschwitz
;
D. Jesurun
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
color-correcting cold mirror;
statistical process control medical lighting;
optical coating design;
56.
Submerged Arc Synthesis of Carbon/Iron-Based Magnetic Nanoparticle Systems
机译:
碳/铁基磁性纳米粒子系统的埋弧合成
作者:
F.S. Denes
;
S. Manolache
;
S. Prokes
;
B. Ravel
;
V.A. Shamamian
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
atmospheric pressure plasma;
nano-particles arc chemistry;
composites;
57.
Substrate Heating Using Several Configurations of an End-Hall Ion Source
机译:
使用端霍尔离子源的几种配置进行基板加热
作者:
J.R. Kahn
;
H.R. Kaufman
;
V.V. Zhurin
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
ion source;
ion beam-assisted deposition substrate temperature;
thermal modeling;
58.
Synthesis and Characterization of SiAlON Thin Film Coatings
机译:
SiAlON薄膜涂层的合成与表征
作者:
J.I. Krassikoff
;
G.P. Bernhardt
;
M. Call
;
T.A. Dunn
;
D.D. More
;
R.J. Lad
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
SiAlON films;
RF magnetron sputtering;
oxidation-resistant coatings;
high temperature corrosion sensor;
59.
Slot Sources: a Replacement for Resistance-Heated Boats in Aluminum Metallizers?
机译:
插槽来源:替代铝金属镀铝机中的电阻加热船吗?
作者:
CA. Bishop
;
C.A.Bishop
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
web coating vaporization sources;
thermal evaporation vacuum system design;
evaporation crucibles;
60.
Solar Reflective Material Produced Using a Laboratory-Scale Roll Coater
机译:
使用实验室规模的辊涂机生产的太阳能反射材料
作者:
R.V. Smilgys
;
C.E. Kennedy
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
web coating applications;
mirror coatings steel web;
ion beam-assisted deposition (IBAD);
61.
Sputtering System for Cleanroom Installation
机译:
用于无尘室安装的溅射系统
作者:
D.W. Konopka
;
M. Styonavich
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
deposition system;
bulkhead mounted;
62.
Real-Time Control of Thin-Film Photovoltaics Process
机译:
薄膜光伏工艺的实时控制
作者:
B.S. Joshi
;
T.L. Vincent
;
N.B. Gomeza
;
I.L. Repins
;
J.S. Britt
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
thin film photovoltaics;
real-time model-based control system identification;
disturbance rejection;
63.
Si/SiGe Superlattices For Thermoelectric Applications
机译:
用于热电应用的Si / SiGe超晶格
作者:
P.M. Martin
;
L.C. Olsen
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
superlattice;
thermoelectric sputtering;
semiconductor;
64.
Rotating Cylindrical Magnetron Sputtering: Aspects Influencing the Sputter Deposition Yield in Large Area Coating Applications
机译:
旋转圆柱磁控溅射:影响大面积涂层应用中溅射沉积产率的方面
作者:
A. Blondeel
;
W. De Bosscher
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
reactive deposition;
cylindrical sputtering targets sputter deposition;
film thickness;
65.
Search for the Cause of Asymmetric Results of Monitoring Errors in DWDM Filters and the Benefits of Corrections in the Last Two Layers
机译:
寻找DWDM过滤器中监视错误结果不对称的原因以及最近两层中进行校正的好处
作者:
R.R. Willey
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
monitoring;
film thickness monitors narrow band filter coatings;
error correction;
66.
RF Plasma Deposition of a Ge:C:H Type Amorphous Superlattice Structures
机译:
Ge:C:H型非晶超晶格结构的RF等离子体沉积
作者:
M. Gazicki-Lipman
;
R. Mazurczyk
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
plasma-enhanced CVD;
organogermanium precursor compound amorphous superlattices;
variable angle spectroscopic ellipsometry (VASE);
67.
Plumbing Industry Use of PVD Coatings: Past, Present, and Future
机译:
水暖行业对PVD涂层的使用:过去,现在和未来
作者:
R. Herrbach
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
decorative coatings;
plumbing industry;
68.
Process Simulation for Advanced Large Area Optical Coatings
机译:
高级大面积光学镀膜的工艺模拟
作者:
A. Pflug
;
B. Szyszka
;
V. Sittinger
;
J. Niemann
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
reactive deposition;
sputter deposition sputtering targets;
process simulation;
69.
Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of Transparent Barrier Coatings
机译:
透明阻隔涂层的等离子体增强化学气相沉积
作者:
G. Czeremuszkin
;
M. Latreche
;
M.R. Wertheimer
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
barrier coatings;
defects PECVD;
modeling;
70.
Plasma and Ion Beam Surface Engineering for Practical Applications
机译:
实际应用的等离子和离子束表面工程
作者:
R. Wei
;
J. Arps
;
B. Lanning
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
tribological applications;
plasma immersion ion processing (PIIP);
ion beam-assisted deposition (IBAD);
plasma and ion beam surface engineering;
71.
Pulsed DC, Gas-Flow Hollow Cathode Discharge: a Source for Sputter-Deposition
机译:
脉冲直流,气流空心阴极放电:溅射沉积的来源
作者:
C. Paduraru
;
A. Belkind
;
K. Becker
;
J. Lopez
;
A. Delahoy
;
S.Y. Guo
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
hollow cathode sputtering pulsed DC;
copper;
72.
PVD of Hard Films Inside Narrow Holes and Barrels
机译:
狭窄孔和桶内的硬膜的PVD
作者:
L. Bardos
;
H. Barankova
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
hollow cathode;
reactive PVD titanium nitride;
internal diameter;
73.
PVD Wear Coatings: Anatomy of a Component Coating Application
机译:
PVD耐磨涂层:组件涂层应用的剖析
作者:
R. Hawbaker
;
S. Taylor
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
arc vaporization;
wear-resistant and abrasion-resistant coatings corrosion-resistance;
component applications;
74.
Recent Developments in the Deposition of ITO and AR Coatings
机译:
ITO和AR涂层沉积的最新进展
作者:
E. Yadin
;
V. Kozlov
;
E. Machevskis
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
web equipment design and construction;
transparent/conductive coatings stability properties;
polymer substrates;
75.
RD Services for the Vacuum Web Coating Industry
机译:
真空卷筒纸行业的研发服务
作者:
N. Schiller
;
C. Charton
;
R. Rank
;
M. Fahland
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
web coating applications;
optical coatings permeation barrier coatings;
reactive deposition;
76.
Development and Characterization of Magnetron Sputtered Al-Mo Coatings
机译:
磁控溅射Al-Mo涂层的研制与表征
作者:
M. Bielawski
;
R.C. McKellar
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
sputter deposition;
coefficient of friction al-mo system;
corrosion-resistant coating;
77.
Developments in Tarnish-Resistant Silver Alloys
机译:
耐变色银合金的发展
作者:
G.M. Wityak
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
silver;
tarnish resistant reflective coatings;
thin films;
78.
Developments in Thin Film Optics
机译:
薄膜光学的发展
作者:
K. Lewis
;
QinetiQ
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
sputter deposition;
film microstructure/defects laser damage;
smart materials;
79.
Direct Forgery-Proof Thin Film Coatings on Products
机译:
产品上的直接防伪薄膜涂层
作者:
R. Domnick
;
M. Belzner
;
G. Bauer
;
J. Hassmann
;
H. Walter
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
optically variable coatings;
stability properties etching/cleaning (plasma);
sputter deposition;
80.
Direct Ion Beam Chemical Vapor Deposition of SiO_2-Like Materials Using a Closed-Drift Ion Source
机译:
使用封闭漂移离子源对类似SiO_2的材料进行直接离子束化学气相沉积
作者:
B. Knapp
;
S. Finke
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
ion source;
plasma source optical coating equipment;
electronic materials;
81.
Gas Implantation in Sputter Targets as a Factor Determining the Target Voltage in Reactive Sputtering
机译:
将气体注入溅射靶中作为确定反应溅射靶电压的因素
作者:
R. De Gryse
;
D. Depla
;
J. Haemers
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
reactive deposition;
sputter deposition sputter targets;
82.
Flexible Barrier Materials for Technical Applications
机译:
技术应用的柔性阻隔材料
作者:
H.-C. Langowski
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
permeation barrier coatings;
polymer base coats moisture permeation;
oxygen permeation;
83.
Influences of Pulse Parameters on Properties of Optical Coatings Deposited by Reactive Pulsed Magnetron Sputtering
机译:
脉冲参数对反应性脉冲磁控溅射沉积光学镀膜性能的影响
作者:
R. Vanecek
;
J.S. Liebig
;
H. Sahm
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
pulsed sputtering;
reactive sputtering optical coatings;
multilayer stacks;
84.
Improvements in High-Power Generators and System Control for Large Area Coatings
机译:
大功率涂料大功率发电机的改进和系统控制
作者:
T. Rettich
;
P. Wiedemuth
;
L. Anderson
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
sputter deposition;
power supplies;
85.
Large-Scale Production of Reflectors by Integrating Plasma Pretreatment, Sputtering, and Plasmapolymerization in a One-Chamber Coater
机译:
通过在单腔室涂布机中集成等离子体预处理,溅射和等离子体聚合来大规模生产反射器
作者:
K. Nauenburg
;
U. Braun
;
W. Dicken
;
G. Ickes
;
M. Roeder
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
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2003年
关键词:
sputter deposition;
plasma polymerization;
mirror coatings;
corrosion-resistant coatings;
86.
Large-Scale PVD Hard Coating Process for Tribological Applications
机译:
摩擦学应用的大规模PVD硬涂层工艺
作者:
M. Ma
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
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2003年
关键词:
large area coating;
titanium diboride (TiB_2) physical vapor deposition (PVD);
tribological coating;
87.
Large Area Sputter Deposition of Novel Transparent Conductive Oxide Materials for Displays Application
机译:
用于显示器的新型透明导电氧化物材料的大面积溅射沉积
作者:
U. Betz
;
J. Marthy
;
F. Atamny
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
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2003年
关键词:
sputter deposition;
transparent conductive coatings large area coating;
displays application;
88.
Large Area Metal Strip Coating by EB-PVD? Current Aims and Physical Limits
机译:
通过EB-PVD进行大面积金属带镀膜?当前目标和身体限制
作者:
E. Reinhold
;
J. Richter
;
U. Seyfert
;
C. Steuer
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
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2003年
关键词:
vapor density distribution;
substrate thermal load ion assisted reactive EB-PVD comparison with sputtering;
89.
Luminescent Devices with Symmetrical and Asymmetrical Microcavity Structures
机译:
具有对称和非对称微腔结构的发光器件
作者:
D. Poitras
;
D. Dalacu
;
X. Liu
;
J. Lefebvre
;
P.J. Poole
;
R. L. Williams
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
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2003年
关键词:
optical coatings design;
ion beam sputtering narrow band filter coatings;
microcavity;
90.
Mechanical Properties of Hard SiCN Coatings Prepared by PECVD
机译:
PECVD制备的SiCN硬质涂层的力学性能
作者:
P. Jedrzejowski
;
J. Cizek
;
A. Amassian
;
J.E. Klemberg-Sapieha
;
J. Vlcek
;
L. Martinu
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
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2003年
关键词:
PECVD;
mechanical properties infrared spectroscopic ellipsometry;
microstructure;
91.
Performance of High-Precision Knife Blades Treated by Plasma Nitriding and PVD Coating
机译:
等离子渗氮和PVD涂层处理的高精度刀刃性能
作者:
P.E. Hovsepian
;
A.P. Ehiasarian
;
W.-D. Muenz
;
D.B. Lewis
;
G. Thompson
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
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2003年
关键词:
nanoscale superlattice coating;
plasma nitriding unbalanced magnetron sputtering;
knife blades;
92.
Adaptive Glazing-Technologies, Applications, and Market
机译:
自适应玻璃技术,应用和市场
作者:
H. Hagenstroem
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
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2003年
关键词:
optically variable coatings;
electrochromic coatings gasochromic coating;
adaptive glazing;
93.
All-Dielectric Front Surface Non-Polarizing Beam Splitter
机译:
全电介质前表面非偏振分束器
作者:
P. Ma
;
P. Verly
;
J.A. Dobrowolski
;
F. Lin
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
beam splitter;
reactive sputtering silicon oxvnitride;
polarization;
94.
A Novel Large Area Ion Plating Process
机译:
一种新颖的大面积离子镀工艺
作者:
M.H. Sohn
;
N.W. Paik
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
ion plating;
ionized PVD transparent/conductive coatings;
conformal coatings;
95.
Permeation Studies of Transparent Barrier Coatings
机译:
透明阻隔涂层的渗透性研究
作者:
B.M. Henry
;
A.G. Erlat
;
C.R.M. Grovenor
;
G.A.D. Briggs
;
T. Miyamoto
;
Y. Tsukahara
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
|
2003年
关键词:
permeation barrier coatings;
oxygen permeation moisture permeation;
polymer substrate;
96.
Microwave Plasma Barrier Coating Technology for PET Beverage Containers
机译:
PET饮料容器的微波等离子涂层技术
作者:
C. Weikart
;
T. Smith
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
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2003年
关键词:
plasma-enhanced CVD (PECVD);
permeation barrier coatings oxygen permeation;
surface coverage;
97.
Mid-Frequency Dual Magnetron Reactive Co-Sputtering for Deposition of Customized Index Optical Films
机译:
中频双磁控反应共溅射用于定制折射率光学膜的沉积
作者:
D.J. Christie
;
W.D. Sproul
;
D. Carter
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
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2003年
关键词:
sputter deposition;
reactive deposition power supplies;
partial pressure control;
98.
New Developments for Highly Flexible In-line Sputter Systems for Architectural Glass Coating
机译:
用于建筑玻璃涂层的高度灵活的在线溅射系统的新发展
作者:
D. Schulze
;
E. Maedler
;
W. Erbkamm
;
C. Hecht
;
J. Melcher
;
F. Milde
;
R. Hill
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
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2003年
关键词:
glass coating;
solar control in-line sputtering;
system design;
99.
Omnidirectional Mirror Coating Design for IR Applications
机译:
用于红外应用的全向镜面镀膜设计
作者:
D. Lusk
;
F. Placido
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
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2003年
关键词:
mirror coating;
fibonacci quasi-periodic;
omnidirectional;
100.
Optimization of Deposition Uniformity for Large Aperture NIF Substrates in a Planetary Rotation System
机译:
行星旋转系统中大孔径NIF基板沉积均匀性的优化
作者:
J.B. Oliver
;
D. Talbot
会议名称:
《Society of Vacuum Coaters 46th Annual Technical Conference; May 3-8, 2003; San Francisco, California USA》
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2003年
关键词:
uniformity;
planetary rotation electron beam deposition;
laser damage;
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