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赵伟; 李勇;
电子工业部第二十四研究所;
深槽隔离; 反应离子刻蚀; 硅;
机译:一种采用深反应离子刻蚀和多晶硅填充的批量微加工中的新型隔离技术
机译:使用深反应离子刻蚀控制硅纳米线密集阵列中的硅纳米线锥度角
机译:键合硅玻璃结构深反应离子刻蚀中硅背面损伤的研究
机译:使用深反应离子刻蚀的超深各向异性硅沟槽 r n(DRIE)
机译:使用灰度光刻和深反应离子刻蚀开发深硅相菲涅耳透镜
机译:结合隔离技术和深反应离子刻蚀形成硅纳米结构
机译:深珊瑚礁槽中强电流和湍流的证据。
机译:在硅中产生深电介质隔离的反应离子刻蚀方法
机译:使用深沟槽侧壁预沉积技术介电隔离硅衬底中的深pn结的方法
机译:方法在微技术中的反应离子刻蚀在硅中隐藏的通道
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