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Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest
Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest
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1.
AN INTEGRATED CHEMICAL SENSOR ARRAY USING CARBON BLACKPOLYMERS AND A STANDARD CMOS PROCESS
机译:
使用碳黑 r n聚合物和标准CMOS工艺的集成化学传感器阵列
作者:
Jeffrey A. Dickson
;
Michael S. Freund
;
Nathan S. Lewis
;
Rodney M. Goodman
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
2.
PACKAGE LEVEL INTEGRATION OF SILICON MICROFABRICATEDREACTORS TO FORM A MINIATURE REACTOR TEST SYSTEM
机译:
硅微粉 r n反应器的包装水平集成以形成微型反应器测试系统
作者:
David J. Quiram
;
Klavs F. Jensen
;
Martin A. Schmidt
;
James F. Ryley
;
Patrick L. Mills
;
Mark D. Wetzel
;
James W. Ashmead
;
Richard D. Bryson
;
Daniel J. JXraus
;
Alan P. Stamford
;
Steven J. Medwin
;
Russell E. Mitchell
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
3.
SIGNAL PROCESSING HIERARCHIES FORPORTABLE, LOW-POWER SAW-BASED CHEMICAL SENSING SYSTEMS
机译:
基于便携式低功耗SAW的化学传感系统的信号处理层次
作者:
Denise M. Wilson
;
Thaddeus A. Roppel
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
4.
SURFACE MICROMACHINED PIEZOELECTRICRESONANT BEAM FILTERS
机译:
表面微机械压电 r n谐振梁滤波器
作者:
Brett Piekarski
;
Don DeVoe
;
Madan Dubey
;
Roger Kaul
;
John Conrad
;
Robert Zeta
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
5.
A NOVEL DESIGN ON A CD DISC FOR 2-POINT CALIBRATION MEASUREMENT
机译:
CD光盘上的新颖设计,可进行2点校准
作者:
Marc J. Madou
;
Yumin Lu
;
Siyi La
;
Yije Juang
;
L. James Lee
;
Sylvia Daunert
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
关键词:
microfluidics;
centrifuge;
SU-8;
photolithography;
6.
Molecular Tagging Velocimetry for Microfluid Applications
机译:
用于微流体应用的分子标记测速
作者:
Zilan Shen
;
Hyoun Park
;
Jig Ming Chen
;
Yongchi Tian
;
Ann-Marie Lanzillotto
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
7.
ACTIVE MICRONEEDLES WITH INTEGRATED FUNCTIONALITY
机译:
集成功能的主动微线
作者:
John Brazzle
;
Dan Bartholomeusz
;
Rupert Davies
;
Joseph Andrade
;
Richard A. Van Wagenen
;
A. Bruno Frazier
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
8.
HYDROGEL MICROVALVES FABRICATED USING IN-SITUPOLYMERIZATION
机译:
使用原位 r n聚合技术制造的水凝胶微阀
作者:
Robin H. Liu
;
Qing Yu
;
Joseph M. Bauer
;
Jeffrey S. Moore
;
David J. Beebe
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
关键词:
in-situ polymerization;
microvalves;
hydrogel;
9.
FLOW CYTOMETRY ON MICROFLUIDIC DEVICES
机译:
微流控设备上的流式细胞术
作者:
Stephen C. Jacobson
;
Maxine A. McClain
;
rnChristopher T. Culbertson
;
J. Michael Ramsey
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
10.
YAW SENSOR DESIGN OPTIMIZATION USING FINITE ELEMENT METHOD
机译:
基于有限元法的偏航传感器设计优化
作者:
George Q. Jiang
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
11.
ON-CHIP EDDY CURRENT SENSOR FOR CRACK DETECTION IN METALS
机译:
用于金属裂纹检测的片上涡流传感器
作者:
Daniel J. Sadler
;
Chong H. Ahn
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
12.
LATCHING MICRO ELECTROMAGNETIC RELAYS
机译:
锁存微电磁继电器
作者:
M. Ruan
;
J. Shen
;
C. B. Wheeler
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
13.
REMOVAL OF CUMULUS CELLS FROM MAMMALIAN OOCYTES IN AMICROFLUIDIC SYSTEM
机译:
A r n微流体系统中哺乳动物卵母细胞中卵细胞的去除
作者:
H. C. Zeringue
;
D. J. Beebe
;
M. B. Wheeler
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
14.
FULLY MICROFABRICATED, SILICON SPRING BIASED,SHAPE MEMORY ACTUATED MICROVALVE
机译:
完全微制造,硅弹簧偏置, r n形状记忆致动微阀
作者:
Geon Hahru
;
Hal Kahn
;
Stephen M. Phillips
;
Arthur H. Heuer
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
15.
ACTIVE FREQUENCY TUNING FOR MICRORESONATORS BY LOCALIZEDTHERMAL STRESSING EFFECTS
机译:
通过局部 r n热应力效应对微谐振器进行有源频率调整
作者:
TODD REMTEMA
;
LIWEI LIN
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
16.
A MICROMACHINED PENDULOUS OSCILLATING GYROSCOPICACCELEROMETER
机译:
微机械摆式陀螺仪 r n加速度计
作者:
Todd J. Kaiser
;
Mark G. Allen
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
17.
A SILICON HEAT EXCHANGER WITH INTEGRATED INTRINSIC-POINT HEATERDEMONSTRATED IN A MICROPROPULSION APPLICATION
机译:
集成内点加热器的硅换热器 r n已在微推进应用中演示
作者:
Robert L. Bayt
;
Kenneth S. Breuer
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
18.
A FLAT HIGH-FREQUENCY SCANNING MICROMIRROR
机译:
平的高频扫描微镜
作者:
Robert A. Conant
;
Jocelyn T. Nee
;
Kam Y. Lau
;
Richard S. Muller
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
19.
DEPENDENCE OF TiO_2FILM SIZE AND SHAPE FORLIGHT ACTIVATED FLOW CONTROL IN MICROCHANNELS
机译:
TiO_2膜尺寸和形状对微通道内 r n光激发流控制的依赖性
作者:
Jaisree Moorthy
;
Christopher Khoury
;
Mark A. Stremler
;
Jeffrey S. Moore
;
David J. Beebe
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
20.
Application of Micromachining Technology toLateral Field Emission Devices
机译:
微加工技术在横向场发射器件中的应用
作者:
Veljko Milanovic
;
Lance Doherty
;
Dana A. Teasdale
;
Chen Zhang
;
Siavash Parsa
;
Kristofer S. J. Pister
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
21.
AN ACTIVE MICRO MIXER USINGELECTROHYDRODYNAMIC (EHD) CONVECTION
机译:
使用 r n电动动态(EHD)对流的有源微混合器
作者:
Jin-Woo Choi
;
Chong H. Ahn
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
22.
SIC RESONANT DEVICES FOR HIGH Q AND HIGH TEMPERATURE APPLICATIONS
机译:
适用于高Q和高温应用的SIC谐振器件
作者:
S. Roy
;
A.K. McIlwain
;
R.G. DeAnna
;
A.J. Fleischman
;
R.K. Burla
;
C.A. Zorman
;
M. Mehregany
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
23.
MICROMACHINED SCANNING REFRACTIVE LENS
机译:
微机械扫描折射透镜
作者:
Daniel A. Fletcher
;
Kenneth B. Crozier
;
Gordon S. Kino
;
Calvin F. Quate
;
Kenneth E. Goodson
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
24.
SHIELDED-TIP/CANTILEVER PROCESS AND INTERFACEFOR MULTIFUNCTIONAL SCANNING PROBE MICROSCOPY
机译:
屏蔽提示/悬臂加工和界面 r n用于多功能扫描探针显微镜
作者:
Toralf Bark
;
Vivek Agrawal
;
Bjoern Rosner
;
Patrick Gustafson
;
Daniel van der Weide
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
25.
VISCOUS DRAG ON A LATERAL MICRO-RESONATOR: FAST 3-DFLUID SIMULATION AND MEASURED DATA
机译:
横向微谐振器上的粘性药物:快速3-D r n流体模拟和测量数据
作者:
Wenjing Ye
;
Xin Wang
;
Werner Hemmert
;
Dennis Freeman
;
Jacob White
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
26.
A SINGLE-MASK PROCESS FOR MICROMACHINED MAGNETIC DEVICES
机译:
微机械磁器件的单模板过程
作者:
Florent Cros
;
Kieun Kim
;
Mark G. Allen
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
27.
A UNIVERSAL MEMS FABRICATION PROCESS FOR HIGH-PERFORMANCE ON-CHIPRF PASSIVE COMPONENTS AND CIRCUITS
机译:
高性能片上 r nRF无源元件和电路的通用MEMS制造工艺
作者:
Hongrui Jiang
;
Bradley A. Minch
;
Ye Wang
;
Jer-Liang A. Yeh
;
Norman C. Tien
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
28.
Ultra Deep Anisotropic Silicon Trenches Using Deep Reactive Ion Etching(DRIE)
机译:
使用深反应离子刻蚀的超深各向异性硅沟槽 r n(DRIE)
作者:
A. A. Aycin
;
X. Zhang
;
R. Khanna
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
29.
A LOW DISPERSION TURN FOR MINIATURIZED ELECTROPHORESIS
机译:
低分散度,可实现最小化的电泳
作者:
Joshua I. Molho
;
Amy E. Herr
;
Bruce P. Mosier
;
Juan G. Santiago
;
Thomas W. Kenny
;
Reid A. Brennen
;
Gary B. Gordon
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
30.
A MICROELECTRODE ARRAY FOR REAL-TIME NEUROCHEMICAL ANDNEUROELECTRICAL RECORDING IiV VITRO
机译:
实时神经化学和 r n神经电记录IV体外的微电极阵列
作者:
Timothy D. Stroneb
;
Hal C. Cantora
;
Richard B. Brownb
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
31.
Real-Time Etch-Depth Measurements of MEMS Devices
机译:
MEMS器件的实时蚀刻深度测量
作者:
Sylvie Bosch-Charpenay
;
Jiazhan Xu
;
John Haigis
;
Peter A. Rosenthal
;
Peter R. Solomon
;
James M. Bustillo
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
32.
DEMONSTRATION OF A MICROFABRICATED HIGH-SPEED TURBINESUPPORTED ON GAS BEARINGS
机译:
气体轴承支撑的微细高速涡轮机的演示
作者:
Luc G. FrCchette
;
Stuart A. Jacobson
;
Kenneth S. Breuer
;
Fredric F. Ehrich
;
Reza Ghodssi
;
Ravi Khanna
;
Chee Wei Wong
;
Xin Zhang
;
Martin A. Schmidt
;
Alan H. Epstein
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
33.
BRINGING MEMS TO MARKET
机译:
使MEMS进入市场
作者:
Kurt E. Petersen
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
34.
ALKENE BASED MONOLAYER FILMS AS ANTI-STICTION COATINGS FORPOLYSILICON MEMS
机译:
基于烯烃的单层薄膜作为 r nPOLYSILICON MEMS的防粘涂层
作者:
W. Robert Ashurst
;
Christina Yau
;
Carlo Camaro
;
Roger T. Howe
;
Roya Maboudian
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
35.
SENSE FINGER DYNAMICS IN A CA FORCE-FEEDBACK GYROSCOPE
机译:
CA力反馈陀螺仪中的传感手指动力学
作者:
Joseph I. Seeger
;
Xuesong Jiang
;
Michael Kraft
;
Bernhard E. Boser
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
36.
Development of a Wafer-Bonded, Silicon-Nitride Membrane Thermal Shear-Stress Sensor with Platinum Sensing Element
机译:
带有铂传感元件的晶圆键合氮化硅膜热剪切应力传感器的开发
作者:
Anthony Cain
;
Venkataraman Chandrasekaran
;
Toshikazu Nishida
;
Mark Sheplak
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
37.
TEMPERATURE COEFFICZENTS OF MATERIAL PROPERTIES USINGDIFFERENTIAL CAPACITNE STRAIN SENSORS
机译:
使用 r n差分电容应变传感器测量材料性能的温度系数
作者:
Larry L. Chu
;
Long Que
;
Yogesh B. Gianchandani
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
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2000年
38.
RESIDUAL STRESS CHARACTERIZATION OF THICK PECVD TEOS FILMFOR POWER MEMS APPLICATIONS
机译:
厚PECVD TEOS膜的残余应力表征 r n在功率MEMS中的应用
作者:
X. Zhang
;
R. Ghodssitt
;
K-S Chenttt
;
A. A. Ayont
;
S. M. Spearing
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
39.
MICROFABRICATED PLANAR PRECONCENTRATOR
机译:
超细纤维平面预浓缩器
作者:
Ronald P. Manginell
;
Gregory C. Frye-Mason
;
Richard J. Kottenstette
;
rnPatrick R. Lewis
;
C. Channy Wong
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
40.
POST-CMOS MODULAR INTEGRATION OF POLY-SIGE MICROSTRUCTURES USINGPOLY-GE SACRIFICIAL LAYERS
机译:
使用 r nPOLY-GE牺牲层对多尺度微结构进行CMOS后集成
作者:
A. E. Franke
;
Y. Jiao
;
M. T. Wu
;
T.-J. King
;
R. T. Howe
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
41.
Electrolysis-Bubble Actuated Gate Valve
机译:
电解气泡驱动闸阀
作者:
Alexandros P. Papavasiliou
;
Dorian Liepmann
;
Albert P. Pisano
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
42.
MESHLESS TECHNIQUES FOR EFFICIENT SIMULATION OF NON-LINEARBEHAVIOR IN ELECTROSTATIC MEMS
机译:
静电MEMS中非线性 r n行为高效仿真的无网格技术
作者:
Gang Li
;
N. R. Aluru
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
43.
A THERMOPNEUMATICALLY-ACTUATED MICROVALVE WITH IMPROVEDTHERMAL EFFICIENCY AND INTEGRATED STATE SENSING
机译:
具有提高的 r n热效率和集成状态传感功能的热光致动微阀
作者:
Collin A. Rich
;
Kensall D. Wise
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
44.
A LARGE-DEFLECTION ELECTROSTATIC ACTUATOR FOROPTICAL SWITCHING APPLICATIONS
机译:
用于 r n光开关应用的大挠度静电致动器
作者:
John D. Grade
;
Hal Jerman
;
Thomas W. Kenny
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
45.
A MICROMACHINED TORSIONAL MIRROR FOR TRACK FOLLOWING INMAGNETO-OPTICAL DISK DRIVES
机译:
用于跟踪 n n光磁盘驱动器的磁道微镜
作者:
Joe Drake
;
Hal Jerman
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
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2000年
46.
MEMS-CONTROLLABLE MICROLENS ARRAY FOR BEAM STEERING ANDPRECISION ALIGNMENT IN OPTICAL INTERCONNECT SYSTEMS
机译:
用于光学互连系统中光束转向和 r n定位校准的MEMS可控微阵列
作者:
Adisorn Tuantranont
;
Victor M. Bright
;
Jianglong Zhang
;
Wenge Zhang
;
John Neff
;
Y. C. Lee
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
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2000年
47.
DISTRIBUTION AND MIXING OF REAGENTSON MULTICHANNEL PLASTIC CHIPS
机译:
试剂的分布和混合 r n非多通道塑料芯片
作者:
Mingqi Zhao
;
Travis D. Boone
;
X. Charmaine Qiu
;
Antonio J. Ricco
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
48.
MONOLITHIC INTEGRATION OF GAAS SAW CHEMICAL MICROSENSORARRAYS AND DETECTION ELECTRONICS
机译:
GAAS锯片化学显微镜的单相积分 r n阵列和检测电子
作者:
Stephen A. Casalnuovo
;
Vincent M. Hietala
;
Edwin J. Heller
;
Gregory C. Frye-Mason
;
Albert G. Baca
;
Joel R. Wendt
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
49.
POLYSILICON XYLOPHONE BAR MAGNETOMETERS
机译:
多晶硅二氧苯条磁通计
作者:
Dennis K. Wickenden
;
John L. Champion
;
R. Ben Givens
;
Thomas J. Kistenmacher
;
Jay L. Lamb
;
Robert Osiander
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
50.
NOVEL PARAMETRIC-EFFECT MEMS AMPLIFIERS/TRANSDUCERS
机译:
新型参数效应MEMS放大器/传感器
作者:
Jean-Pierre Raskin
;
Andrew R. Brown
;
Gabriel M. Rebeiz
;
Butrus T. Khuri-Yakub
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
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2000年
51.
Fabrication of Genetic Analysis Microsystems using Plastic Microcasting
机译:
使用塑料微铸造技术制备遗传分析微系统
作者:
P. Sethu
;
H. Yut
;
P. Grodzinskit
;
C. H. Mastrangelo
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
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2000年
关键词:
plastic casting;
capillary electrophoresis;
microPCR;
rngenetic analysis systems;
52.
CHAOTIC MIXING IN MICROFLUIDIC SYSTEMS
机译:
微流体系统中的混沌混合
作者:
Mark A. Stremler
;
Michael G. Olsen
;
Byung H. Jo
;
Ronald J. Adrian
;
Hassan Aref
;
David J. Beebe
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
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2000年
53.
A Multifunctional Silicon-based Microscale Surgical System
机译:
多功能基于硅的微型手术系统
作者:
II-Seok Son
;
Amit Lal
;
Bill Hubbard
;
Tim Olsen
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
54.
MULTI-DEGREE OF FREEDOM DYNAMIC CHARACTERIZATION OF DEEPETCHEDSILICON SUSPENSIONS
机译:
分离的 r n硅悬浮液的多自由度动态表征
作者:
D.A. Horsley
;
P.G. Hartwell
;
R.G. Walmsley
;
J. Brandt
;
U. Yoon
;
S. Hoen
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
55.
SEPARATION OF DNA IN MICROFLUIDIC SYSTEMS
机译:
微流体系统中DNA的分离
作者:
H. G. Craighead
;
J. Han
;
S. W. Turner
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
56.
A HIGH FREQUENCY HIGH FLOW RATE PIEZOELECTRICALLY DRIVENMEMS MICROPUMP
机译:
高频高流量压电驱动 r nMEMS微型泵
作者:
H.Q. Li
;
D.C. Roberts
;
J.L. Steyn
;
K.T. Turner
;
J. A. Carretero
;
O. Yaglioglu
;
rnY.-H. Su
;
L. Saggere
;
N.W. Hagood
;
S.M. Spearing
;
M.A. Schmidt
;
R. Mlcak
;
K.S. Breuer
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
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2000年
57.
THE POLYCHROMATOR:A PROGRAMMABLE MEMS DIFFRACTION GRATING FOR SYNTHETIC SPECTRA
机译:
聚合器:用于合成光谱的可编程MEMS衍射光栅
作者:
G. B. Hacker
;
D. Youngner
;
E. Deutsch
;
A. Volpicelli
;
S. Senturia
;
M. Butler
;
M. Sinclair
;
T. Plowman
;
A. J. Ricco
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
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2000年
58.
PREDICTIVE DESIGN OF REVERSE INJECTION MECHANISM FOR ELECTROKINETIC DNASAMPLE INJECTION
机译:
电动DNA r n样品注射的反向注射机理的预测设计
作者:
Manish Deshpande
;
Ken B. Greiner
;
John West
;
John R. Gilbert
;
Luc Bousse
;
Abdel Minalla
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
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2000年
59.
A MIXED-SIGNAL SENSOR INTERFACE MICROINSTRUMENT
机译:
混合信号传感器接口微仪器
作者:
Keith L. Kravera
;
Matthew R. Guthausa
;
Timothy D. Stronga
;
rnPeter L. Birda
;
Geun Sig Chab
;
Wolfgang Hoeld
;
Richard B. Browna
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
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2000年
60.
A VERTICAL MICROMACHINED RESISTIVE HEATERFOR A MICRO GAS SEPARATION COLUMN
机译:
立式微机械电阻加热器,用于微气体分离塔
作者:
Janet K. Robertson
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
61.
ALOWPOWER/LOWVOLTAGE ELECTROSTATIC ACTUATOR FOR RF'MEMS APPLICATIONS
机译:
适用于RF'MEMS应用的低功耗/低压静电执行器
作者:
J. Jason Yao
;
SangTae Park
;
Robert Anderson
;
Jeffrey DeNatale
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
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2000年
62.
HIGH SENSITIVITY MEMS ULTRASOUND ARRAYS BY LATERALFERROELECTRIC POLARIZATION
机译:
横向 r n铁电极化的高灵敏度MEMS超声阵列
作者:
J.J. Bernstein
;
J. Bottari
;
K. Houston
;
G. Kirkos
;
R. Miller
;
B. Xu
;
Y. Ye
;
L.E. Cross
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
63.
IN-SITU MICROPLASMAS FOR RAPID DRY ETCHING OF SILICON
机译:
原位微晶硅用于快速干法蚀刻硅
作者:
Chester G. Wilson
;
Yogesh B. Gianchandani
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
64.
Through-Wafer Electrical Interconnects CompatibleWith Standard Semiconductor Processing
机译:
晶圆间电互连与标准半导体处理兼容
作者:
Eugene M. Chow
;
Aaron Partridge
;
Calvin F. Quate
;
Thomas W. Kenny
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
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2000年
65.
HERMETIC WAFER BONDING BASED ON RAPID THERMALPROCESSING
机译:
基于快速热学的密封晶片键合 r n处理
作者:
Mu Chiao
;
Liwei Lin
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
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2000年
66.
DESIGN OF AFM CANTILEVERS FOR COMBINED THERMOMECHANICALDATA WRITING AND READING
机译:
结合热力学 r n数据写入和读取的AFM悬臂梁的设计
作者:
William P. King
;
Thomas W. Kenny
;
Kenneth E. Goodson
;
Graham Cross
;
Michel Despont
;
Urs Duerig
;
Mark I. Lutwyche
;
Hugo Rothuizen
;
Gerd K. Binnig
;
Peter Vettiger
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
67.
A High-Performance Hybrid CMOS Microaccelerometer
机译:
高性能混合CMOS微加速度计
作者:
Arvind Salian
;
Haluk Kulah
;
Navid Yazdi
;
Guohong He
;
Khalil Najaf
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
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2000年
68.
A High Aspect-Ratio Polysilicon Vibrating Ring Gyroscope
机译:
高纵横比多晶硅振动环陀螺仪
作者:
Farrokh Ayazi
;
Hsiao H. Chen
;
Fatih Kocer
;
Guohong He
;
Khalil Najafl
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
关键词:
gyroscope;
high aspect-ratio;
silicon micromachining;
rnvibratory gyroscope;
yaw rate sensor;
69.
CONTINUOUS MICROMIXER WITH PULSATILE MICROPUMPS
机译:
连续微胶乳机
作者:
Ajay A. Deshmukh
;
Dorian Liepmann
;
Albert P. Pisano
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
70.
POST-CMOS PROCESSING FOR HIGH-ASPECT-RATIOINTEGRATED SILICON MICROSTRUCTURES
机译:
高宽比 r n集成硅微结构的CMOS后处理
作者:
Huikai Xie
;
Lars Erdmann
;
Xu Zhu
;
Kaigham J. Gabriel
;
Gary K. Fedder
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
71.
DEVELOPMENT OF A SILICON TWO-AXIS MICROMIRROR FORAN OPTICAL CROSS-CONNECT
机译:
用于 r n光学交叉连接的硅两轴微镜的开发
作者:
Andrew S. Dewa
;
John W. Orcutt
;
Marshall Hudson
;
David Krozier
;
Alan Richards
;
Herzel Laor
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
72.
INVESTIGATION OF A MINIATURIZED CAPILLARY ISOELECTRIC FOCUSING (cIEF)SYSTEM USING A FULL-FIELD DETECTION APPROACH
机译:
使用全检测方法对最小化毛细管等电聚焦(cIEF) r n系统进行研究
作者:
Amy E. Herr
;
Joshua I. Molho
;
Juan G. Santiago
;
Thomas W. Kenny
;
David A. Borkholder
;
Gregory J. Kintz
;
Phillip Belgrader
;
M. Allen Northrup
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
73.
MEMS Thermal Shear-Stress Sensors: Experiments, Theory and Modeling
机译:
MEMS热剪应力传感器:实验,理论和建模
作者:
Qiao Lin
;
Fukang Jiang
;
Xuan-Qi Wang
;
Zhigang Han
;
Yu-Chong Tai
;
James Lew
;
Chih-Ming Ho
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
74.
NANOELECTROMECHANICAL SYSTEMS
机译:
纳米机电系统
作者:
M. L. Roukes
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
75.
A NEW CLASS OF HIGH FORCE, LOW-VOLTAGE,COMPLIANT ACTUATION SYSTEMS
机译:
新型的高强度,低电压, r n兼容执行系统
作者:
M. Steven Rodgers
;
Sridhar Kota
;
Joel Hetrick
;
Zhe Liz
;
Brian D. Jensen
;
rnThomas W. Krygowski
;
Samuel L. Miller
;
Stephen M. Barnes
;
Michael S. Burg
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
76.
MEMS-BASED VARIABLE CAPACITOR FORMILLIMETER-WAVE APPLICATIONS
机译:
r n毫米波应用的基于MEMS的可变电容器
作者:
Zhiping Feng
;
Huantong Zhang
;
Wenge Zhang
;
Bingzhi Su
;
rnK. C. Gupta
;
Victor M. Bright
;
Y. C. Lee
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
77.
UNDERSTANDING PARAMETRIC RESONANCE EFFECTS IN COMMON MEMACTUATORS
机译:
理解常见MEM r n执行器中的参数共振效应
作者:
Kimberly L. Turner
;
Noel C. MacDonald
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
78.
SPUTTERED SILICON FOR INTEGRATED MEMS APPLICATIONS
机译:
适用于集成MEMS应用的溅射硅
作者:
Kenneth A. Honer
;
Gregory T. A. Kovacs
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
79.
SWPTCHABLE ELECTROSTATIC MICRO-VALVES WITH HIGH HOLD-OFF PRESSURE
机译:
高保持压力的可插拔静电微阀
作者:
Mike L. Philpott
;
David J. Beebe
;
Anthony Fischer
;
Bruce Flachsbart
;
Mike Marshall
;
Norman R. Miller
;
John C. Selby
;
Mark A. Shannon
;
Yan Wu
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
80.
EXTRACTION OF FREQUENCY DEPENDENT MACRO-MODELSFOR GAS DAMPING AND SPRING EFFECTS FOR MEMS DEVICES
机译:
提取与频率相关的宏模型 r n以实现MEMS设备的气体阻尼和弹簧效应
作者:
Yao- Joe Yang
;
Mattan Kamon
;
Vladimir L. Rabinovich
;
Chahid Ghaddar
;
rnManish Deshpande
;
Ken Greiner
;
John R. Gilbert
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
81.
Integrated Elastomer Fluidic Lab-on-a-chip - Surface Patterning and DNA Diagnostics
机译:
集成的弹性体流体芯片实验室-表面图案和DNA诊断
作者:
Hou-Pu Chou
;
Marc A. Unger
;
Axe1 Scherer
;
Stephen R. Quake
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
82.
A MEMS RADIO-FREQUENCY ION MOBILITY SPECTROMETERFOR CHEMICAL AGENT DETECTION
机译:
MEMS射频离子迁移谱仪 r n用于化学试剂检测
作者:
Raanan A. Miller
;
Gary A. Eiceman
;
Erkinjon G. Nazarov
;
Thomas A. King
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
83.
A MICRO HEAT EXCHANGER WITH INTEGRATED HEATERS AND THERMOMETERS
机译:
集成加热器和温度计的微型换热器
作者:
Lian Zhang
;
Shilajeet S. Banerjee
;
Jae-Mo Koo
;
Daniel J. Laser
;
Mehdi Asheghi
;
rnKenneth E. Goodson
;
Juan G. Santiago
;
Thomas W. Kenny
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
84.
ADHESION FORCE MEASUREMENTS ON SINGLE GECKO SETAE
机译:
单个GECKO SETAE上的附着力测量
作者:
Yiching A. Liangl
;
Kellar Autumn
;
S. Tonia Hsieh
;
Wolfgang Zesch
;
Wai Pang Chans
;
Ronald S. Fearing
;
Robert J. Fulls
;
Thomas W. Kenny
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
85.
THE IMPACT OF MEMS ON THE CHEMICAL AND PHARMACEUTICAL INDUSTRIES
机译:
MEMS对化学和制药工业的影响
作者:
Klavs F. Jensen
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
86.
Optimized Scratch Drive Actuator for TetheredNanometer Positioning of Chip-Sized Components
机译:
优化的刮擦驱动执行器,用于芯片尺寸组件的系留/纳米级定位
作者:
Ryan J. Linderman
;
Victor M. Bright
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
87.
ELECTRO-THERMALACTUATORS USINGOPTIMIZEDCOMPLIANTMICROTRANSMISSIONSASRECTILINEARMOTIONAMPLIFIER
机译:
使用优化的兼容电子热致动器 r n微传输SAS直线电抗器
作者:
Larry L. Chu
;
Joel A. Hetrick
;
Yogesh B. Gianchandani
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
88.
SCANNING MICROLENS SHUTTLES FABRICATED USING SILICON-ON-INSULATOR WAFERS
机译:
使用绝缘体上硅片制造的扫描微缩管
作者:
Decai Sun
;
Chingwen Yeh
;
Michel Rosa
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
89.
ATOMIC FORCE MICROSCOPE FOR PLANETARY APPLICATIONS
机译:
行星应用的原子力显微镜
作者:
T. Akiyama
;
S. Gautsch
;
N.F. de Rooij
;
U. Statler
;
Ph. Niedermann
;
L. Howald
;
D. Mueller
;
A. Tonin
;
H.-R. Hidlxr
;
W. T. Pike
;
M. H. Hecht
会议名称:
《Solid-state sensor and actuator workshop : Technical digest》
|
2000年
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