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International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)
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1.
A Study on Optimization of Miniature Machine Tool Design
机译:
微型机床设计优化研究
作者:
Nozomu Mishima
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
2.
Micro Electrochemical Machining of Stainless Steel
机译:
不锈钢的微电化学加工
作者:
Bo Hyun Kim
;
Chan Wook Na
;
Byung Jin Park
;
Deok Ki Choi
;
Chong Nam Chu
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
3.
MICRO TURNING SYSTEM 3 (MTS3): A PRACTICAL CNC LATHE FOR MICROFACTORIES
机译:
微型车削系统3(MTS3):用于微型工厂的实用CNC车床
作者:
Daisuke Iijima
;
Sumio Ito
;
Akira Hayashi
;
Hisayuki Aoyama
;
Masashi Yamanaka
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
4.
MECHANICAL CHARACTERIZATION OF MICRON-THICK UV LIGA NI FILMS USING XRD TENSILE TEST TECHNIQUE
机译:
X射线拉伸试验技术对微米级紫外Liga Ni薄膜的机械表征
作者:
Takahiro Namazu
;
Shozo Inoue
;
Keiichi Takemura
;
Masaaki Ishibuchi
;
Keiji Koterazawa
;
Yuichi Utsumi
;
Tadashi Hattori
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
5.
Measurement of the development rate of irradiated PMMA in deep X-ray lithography
机译:
深X射线光刻中辐照的PMMA显影速率的测量
作者:
Guo Yuhua
;
Liu Gang
;
Kan Ya
;
Tian Yangchao
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
关键词:
LIGA;
crosslinked PMMA;
development rate;
GG-developer;
6.
MODELLING AND CONTROL OF A HIGHLY MODULAR MICROASSEMBLY SYSTEM
机译:
模块化微组件系统的建模与控制
作者:
Micky Rakotondrabe
;
Yassine Haddab
;
Philippe Lutz
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
7.
New Method of Layer-to-layer Bonding Technology of PMMA
机译:
PMMA层间粘结技术的新方法
作者:
Xuelin Zhu
;
Gang Liu
;
Yangchao Tian
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
8.
NECESSARY LOAD FOR ROOM TEMPERATURE VACUUM SEALING
机译:
室温真空密封所需的负载
作者:
Toshihiro Itoh
;
Tadatomo Suga
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
9.
PALMTOP SURFACE MOUNT SYSTEMS COMPOSED OF MOLDED PANTOGRAPH MECHANISMS WITH LARGE-DEFLECTIVE HINGES AND LINKS USING IN A ONE-ROOM FACTORY
机译:
在一个单室工厂中使用具有大挠性铰链和连杆的模制受力弓形机构组成的PALMTOP表面安装系统
作者:
Mikio Horie
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
10.
Optimization technology of RIE deep groove
机译:
RIE深槽优化技术
作者:
Zhengyuan Zhang
;
Shilu Xu
;
Yukui Liu
;
Guohua Shui
;
Guoyu Yang
;
Yong Liu
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
11.
PROCESS OF ELECTROLESS CU/NI PLATING ON SINGLE-CRYSTAL SILICON STRUCTURES OF MEMS
机译:
MEMS单晶硅结构上的无电镀铜/镍电镀工艺
作者:
Xiang Han
;
Yi Li
;
Wengang Wu
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
关键词:
electroless plating;
Cu/Ni and Ni/Cu compound films;
single-crystal silicon;
pretreatment;
activation;
MEMS;
12.
CONSTRUCTION OF A SPECIAL SURFACE FOR POWER DELIVERY TO WIRELESS MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS OPERATING ON THE SAME PLATFORM
机译:
在相同平台上运行的无线微机电系统供电专用表面的构建
作者:
Sylvain Martel
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
13.
The Loss of MEMS RF Component On Low-resistivity Silicon
机译:
低电阻硅上的MEMS RF组件损耗
作者:
Fangmin Guo
;
Yupin Ge
;
Ziqiang Zhu
;
Wei Lu
;
Zhongsheng Lai
;
Yaolin Wang
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
关键词:
PS/OPS;
insertion loss;
MEMS;
RF switch;
CPW;
substrate;
14.
Design of calibration system of high-precise positioning table
机译:
高精度定位台标定系统设计
作者:
Ge Yi-jun
;
Zhang Hai-tao
;
Cheng Wei-ming
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
关键词:
high-precise positioning table;
laser interferometer;
error-analyzing and measuring;
calibration technology;
15.
FABRICATION, MODELING AND CHARACTERIZATION OF ALUMINA MICRO RECIPROCATING ENGINE
机译:
铝微加氢发动机的制备,建模和表征
作者:
Peng Jin
;
Kyle Jiang
;
Jiubin Tan
;
Dou Zhang
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
16.
Development of desk-top type injection molding machine with low temperature plasticization mechanism
机译:
具有低温塑化机制的台式注塑机的研制
作者:
Kiwamu Ashida
;
Noboru Morita
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
17.
SILICON PILLARS DEVELOPMENT FOR THERMAL ISOLATION APPLICATIONS
机译:
用于热隔离应用的硅支柱开发
作者:
Elena BERCA
;
Francois AVELLAN
;
Francois CANNEHAN
;
Philippe LANGLET
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
18.
SPREADING MODEL OF SILICON-GLASS BONDING WITH POINT CATHODE
机译:
点状阴极键合硅玻璃的扩展模型
作者:
Liu Xiaowei
;
Chuai Rongyan
;
Zhang Honghua
;
Chen Weiping
;
Zhang Guowei
;
Liu Yibo
;
Song Minghao
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
19.
SPECIFICATIONS OF TECHNICAL INFORMATION SYSTEM DEDICATED TO A REORGANIZABLE AND RECONFIGURABLE MICROFACTORY
机译:
专门针对可重组和可重构微工厂的技术信息系统的规范
作者:
Eric Descourvieres
;
Dominique Gendreau
;
Philippe Lutz
;
Francois Kiefer
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
20.
STUDY OF SOME KEY PROBLEMS IN MICROMANIPULATION-ORIENTED REAL-TIME HUMAN-COMPUTER INTERACTIVE TELE-OPERATION
机译:
面向微操纵的实时人机交互远程操作中的一些关键问题的研究
作者:
Xu Zheng
;
Liu Chong
;
Wang Liding
;
Wang Song
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
关键词:
micromanipulation system;
stereovision;
human-computer interaction;
21.
SURFACE AND BULK MIXED SILICON MICROMACHINING EMPLOYED IN MANUFACTURING A NOVEL TORSION-MIRROR MICROACTUATOR WITH COMPOUND ELECTROSTATIC DRIVING STRUCTURE
机译:
用于制造具有复合静电驱动结构的新型扭镜微驱动器的表面和大块混合硅微加工
作者:
W. G. Wu
;
Q. H. Chen
;
G. Z. Yan
;
Y. L. Hao
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
关键词:
mixed silicon micromachining;
torsion-mirror;
microactuator;
compound electrostatic driving;
22.
Study on the remote controlled micro-machined capsule
机译:
遥控微胶囊的研究
作者:
Jianguo Cui
;
Xiaolin Zheng
;
Yunlong Wei
;
Wensheng Hou
;
Chenglin Peng
;
Xitian Pi
;
Yang Liu
;
Hongying liu
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
23.
SURFACE ROUGHNESS STUDY BASED ON MICRO-END-MILLING WITH A MINIATURIZED MACHINE TOOL
机译:
基于微型机床的微型端面铣削的表面粗糙度研究
作者:
Wei Wang
;
Sung-Hwan Kweon
;
Seung-Han Yang
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
关键词:
surface roughness;
micro-end-milling;
miniaturized machine tool;
experimental design;
response surface methodology;
24.
High Precision Robotics System for Scanning Electron Microscopes
机译:
扫描电子显微镜的高精度机器人系统
作者:
S. Mazerolle
;
R. Rabe
;
S. Fahlbusch
;
J. Michler
;
J.-M. Breguet
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
25.
STUDY ON HIGH PRECISION ASPHERIC SURFACE MICROFABRICATION TECHNOLOGY
机译:
高精度球形表面微细化技术研究
作者:
HUANG Hao
;
GUO Yin-biao
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
关键词:
axisymmetric aspheric surface;
machining accuracy;
concave;
grinding wheel;
26.
The Integrated Fabrication System of Melt-drawn Fiber Tapers and Microsphere Resonators
机译:
熔体拉伸纤维锥度和微球谐振器的集成制造系统
作者:
Lisa Liu
;
Lie Zhang
;
Chenchun Ye
;
Guobin Wen
;
Zhiping Cai
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
27.
A HIGH f_(max) SiGe HBT WITH AIR-BRIDGE
机译:
具有气桥的高f_(max)SiGe HBT
作者:
Kaicheng Li
;
Daoguang Liu
;
Rongkan Liu
;
Jing Zhang
;
Rongqiang Li
;
Luncai Liu
;
Wei-Xin Ni
;
Wanjing Xu
;
Kaiquan He
;
Yukui Liu
;
Shiliu Xu
;
Gangyi Hu
;
Xueliang Xu
;
Guangbing Chen
;
Ulf Koenig
;
Adreas Gruhle
;
Horst Kibbel
;
Ulrich Zeiler
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
28.
A METHOD TO MAKE LOW-STRESS METAL THIN FILMS
机译:
一种制备低应力金属薄膜的方法
作者:
Long Zhang
;
Jian Zhu
;
Liqiang Lin
;
Min Zhuo
;
Jing Wu
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
29.
3D MICROFABRIC ATION OF METAL MICROMOLD
机译:
金属微孔的3D微细加工
作者:
DU Liqun
;
LIU Chong
;
LOU Zhifeng
;
CHU Denan
;
GONG Dehai
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
关键词:
electroforming;
UV-LIGA process;
SU-8 photoresist;
MEMS;
30.
A MICRO-FABRICATION TECHNOLOGY FOR ULTRA-THIN SILICON NEMS BEAMS
机译:
硅超薄梁的微细加工技术
作者:
Haitao Yu
;
Heng Yang
;
Yuelin Wang
;
Xinxin Li
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
31.
A Novel Technique of Producing Carbon Nanotubes Cold Cathode Thin Film
机译:
碳纳米管冷阴极薄膜的生产新技术
作者:
QIAN Kaiyou
;
LIN Yangkui
;
XU Dong
;
LI Jinyu
;
ZHANG Yafei
;
CAI Bingchu
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
32.
A novel scanning micromirror for MEMS optical switch
机译:
一种用于MEMS光开关的新型扫描微镜
作者:
Fu hongqiao
;
Luo yuan
;
Zhang jie
;
Huang shanglian
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
关键词:
MEMS;
scanning micromirror;
optical switch;
33.
ADVANCED X-RAY LITHOGRAPHY SYSTEM FOR LIGA PROCESS USING ENERGY VARIABLE SYNCHROTRON RADIATION
机译:
能量可变同步加速辐射的先进的X射线光刻技术
作者:
Yuichi Utsumi
;
Takefumi Kishimoto
;
Tadashi Hattori
;
Hirotsugu Hara
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
34.
CONTROL OF PIEZOELECTRIC ACTUATORS CONNECTED IN TRIANGULAR SHAPE FOR A SMALL ROTARY STAGE
机译:
旋转阶段三角形连接的压电执行器的控制
作者:
Akihiro TORII
;
Takuya KUSAKAWA
;
Kae DOKI
;
Akiteru UEDA
会议名称:
《》
|
2004年
关键词:
miniature robot;
piezoelectric actuator;
35.
BURR MINIMISATION IN MICRO GROOVING
机译:
微切槽中的BURR最小化
作者:
F. Z. Fang
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
关键词:
Micro-machining;
grooves;
burr formation;
fly-cut;
36.
A LOW-COST AND HIGH-THROUGHPUT MEMS FABRICATION METHOD COMPATIBLE WITH IC MANUFACTURINGTECHNOLOGY
机译:
与集成电路制造技术兼容的低成本,高通量的MEMS制造方法
作者:
Xiqiu Fan
;
Sheng Liu
;
Honghai Zhang
;
Zhiwen Lu
;
Xiaofeng Hu
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
关键词:
nanoimprint lithography (NIL);
3-D structure;
technological compatibility;
MEMS;
37.
SACE IN MICROFACTORY
机译:
SACE在微工厂
作者:
K. Fujisaki
;
Ph. Couty
;
R. Wuethrich
;
L.A. Hof
;
H. Bleuler
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
38.
SPUTTERED NITI THIN FILMS WITH HEATED SUBSTRATE FOR MEMS APPLICATIONS
机译:
带有衬底的热镀膜薄膜,用于MEMS应用
作者:
Zhenyu YUAN
;
Dong XU
;
Zhican YE
;
Yushu Liu
;
Bingchu CAI
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
关键词:
NiTi thin films;
shape memory alloy;
sputtering;
R-T curves;
microactuator;
39.
Three-Dimensional Microfabrication in a Doped PMMA Film Using Two-Photon Bleaching
机译:
使用双光子漂白在掺杂的PMMA膜中进行三维微加工
作者:
Huohong Tang
;
Hui Xing
;
Bin Jiang
;
Yongjun Zhou
;
Wenhao Huang
;
Andong Xia
;
Fan Sun
;
Fushi Zhang
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
40.
THE TEST STRUCTURE FOR SILICON-ON-GLASS (SOG) MEMS DEVICE
机译:
玻璃硅(SOG)MEMS器件的测试结构
作者:
Ruan Yong
;
Zhang Da-cheng
;
He Xue-feng
;
Wang Yang-yuan
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
41.
TOWARDS FULLY AUTOMATED MICROHANDLING
机译:
迈向全自动微处理
作者:
Sergej Fatikow
;
Axel Kortschack
;
Helge Hsen
;
Torsten Sievers
;
Thomas Wich
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
42.
A ground shielded low loss transmission line using Au-to-Au thermo compressive package
机译:
使用Au-Au热压封装的接地屏蔽低损耗传输线
作者:
Jiunnjye Tsaur
;
Takeshi Kobayashi
;
Ryutaro Maeda
;
Tadatomo Suga
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
43.
A method of Gaining Higher Diffractive Efficiency of Diffractive Spatial Light Modulator
机译:
一种获得更高衍射效率的衍射空间光调制器的方法
作者:
J.Zhang
;
H.Q.Fu
;
S.L.Huang
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
关键词:
diffractive spatial light modulator;
grating light valve;
diffraction;
44.
A MULTI DEGREE OF FREEDOM MEASUREMENT SYSTEM FOR DETERMINING GEOMETRIC ERRORS IN A MINIATURI ZED MACHINE TOOL
机译:
用于确定小型机加工机床几何误差的多自由度测量系统
作者:
Jae-Ha Lee
;
Yu Liu
;
Seung-Han Yang
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
关键词:
geometric error;
homogeneous transformation matrix;
multi-degree-of-freedom measurement;
miniaturized machine tool;
capacitance sensor;
45.
A MICROMANIPULATION CELL INCLUDING A MICROTOOLS CHANGER
机译:
包括微调器的微操纵单元
作者:
Cedric Clevy
;
Arnaud Hubert
;
Joel Agnus
;
Nicolas Chaillet
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
46.
AMBIENT ENVIRONMENTAL EFFECTS IN MICRO/NANO HANDLING
机译:
微生物/纳米处理中的环境影响
作者:
Quan Zhou
;
Bo Chang
;
Heikki N. Koivo
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
47.
A NOVEL METHOD TO MAKE COMPLEX THREE-DIMENSIONAL STRUCTURES
机译:
制作复杂的三维结构的新方法
作者:
Ling-Han Li
;
Jing-Quan Liu
;
Hong-Wen Sun
;
Ya-Fei Zhang
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
48.
AUTOMATED CELL MANIPULATION SYSTEM BY USE OF VISUAL INFORMATION
机译:
利用视觉信息的自动细胞操作系统
作者:
Libo Zhou
;
Zhongjun Qiu
;
Keisuke Nishida
;
Tomohiko Ishikawa
;
Jun Shimizu
;
Hiroshi Eda
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
49.
AN INTEGRATED FEMTOSECOND LASER TWO-PHOTON MICROFABRICATION STATION
机译:
集成的飞秒激光两光子微细加工站
作者:
Wenhao Huang
;
Anding Zhu
;
Yuxiang Liu
;
Zhongwei Jiang
;
Yongjun Zhou
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
50.
Common Design Rules Empirically Derived from Prototyping Microfactories for Various Functional Requirements
机译:
经验丰富的通用设计规则,可根据各种功能要求从原型微工厂中得出
作者:
Masayuki Nakao
;
Kensuke Tsuchiya
;
Takeshi Ooi
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
51.
DEVELOMENT OF A DESK-TOP MILLING MACHINE WITH A 300 KRPM SPINDLE AND A LINEAR MOTOR STAGE
机译:
主轴转速为300 RPM的台式铣床的开发
作者:
Yuichi Okazaki
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
52.
DEEP ETCHING OF MICROCHANNELS ON PYREX GLASS: EXPERIMENT DESIGN AND PARAMETER OPTIMIZATION
机译:
高温玻璃上微通道的深蚀刻:实验设计和参数优化
作者:
Xuhan Dai
;
Xiaolin Zhao
;
Guifu Ding
;
Xiaoqiang Xie
;
Bingchu Cai
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
53.
Development and Characteristic on the Desk-top 4-Axes Machine 'TRIDER-X' for Micro-fabrication
机译:
用于微细加工的台式四轴机床“ TRIDER-X”的发展和特点
作者:
Weimin Lin
;
Hitoshi Ohmori
;
Yoshihiro Uehara
;
Muneaki Asami
;
Miyajiro Ohmori
会议名称:
《》
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2004年
54.
Design of a Visually Guided 6 DOF Micromanipulator System for 3D Assembly of Hybrid MEMS
机译:
用于混合MEMS的3D组装的视觉引导6自由度微操纵器系统的设计
作者:
Bradley E. Kratochvil
;
Kemal Berk Yesin
;
Vincent Hess
;
Bradley J. Nelson
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
55.
Development of Glass-Like Carbon/Carbon Nanotube Composite Die for Mold-Press of Micro Glass Lens
机译:
微型玻璃透镜模压玻璃状碳/碳纳米管复合模具的开发
作者:
Hiroaki Ito
;
Kohshi Ito
;
Masahiro Arai
;
Koh-ichi Sugimoto
;
Toshiaki Matsukura
;
Yuji Ushijima
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
56.
Fabrication and Mechanics Behaviors of a ultra-thin flexible polysilicon film
机译:
超薄柔性多晶硅膜的制备及力学行为
作者:
Qin Yuanzhen
;
Wang Peng
;
Ding Tianhuai
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
关键词:
flexible polysilicon film;
polyimide;
mechanics behavior;
MEMS;
57.
Fabrication of a Hot Embossing Mould for PMMA Microfluidic Chip Using UV-LIGA Technique
机译:
使用UV-LIGA技术制造用于PMMA微流体芯片的热压花模具
作者:
Luo Yi
;
Chu Denan
;
Yu Tongmin
;
Lou Zhifeng
;
Liu Chong
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
58.
Micro manipulation by adhesion with two collaborating mobile micro robots
机译:
通过与两个协作的移动微型机器人的粘合进行微操纵
作者:
Walter Driesen
;
Thierry Varidel
;
Stephane Regnier
;
Jean-Marc Breguet
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
59.
Microfactory cells for microforming and micromaterials testing
机译:
用于微成形和微材料测试的微工厂单元
作者:
Yasunori Saotome
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
60.
ON THE PERFORMANCE ADVANTAGES OF MICROSCALE MACHINE TOOLS
机译:
微型机床的性能优势
作者:
Hyung Wook Park
;
Steven Y. Liang
;
Wang Lin Liu
;
Shang-Bin Hsieh
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
61.
PROGRESS IN AGILE ASSEMBLY: MINIFACTORY COURIERS BASED ON FREE-ROAMING PLANAR MOTORS
机译:
敏捷装配的进展:基于自由漫游平面电机的微型发电机
作者:
T. B. Lauwers
;
Z. K. Edmondson
;
R. L. Hollis
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
62.
PHYSICAL PRINCIPLES AND MINIATURIZATION OF SPARK ASSISTED CHEMICAL ENGRAVING (SACE)
机译:
火花辅助化学雕刻(SACE)的物理原理和最小化
作者:
L.A. Hof
;
R. Wuethrich
;
K. Fujisaki
;
H. Bleuler
;
Ph. Mandin
;
G. Picard
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
63.
RELEASE PROCESS EVALUATION OF MEMS STRUCTURES
机译:
MEMS结构的发布过程评估
作者:
Xuefeng He
;
Jing Fang
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
64.
Research on Electromagnetic Field for Magnetic Levitation Precision Stage
机译:
磁悬浮精密平台的电磁场研究
作者:
WANG Yan-feng
;
He Hui-Yang
;
LU Zhi-Shan
;
SONG Wen-Rong
;
LI Shu-Gong
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
关键词:
CAD/CAE;
magnetic levitation;
linear motor, photolithography;
finite element method (FEM);
electromagnetic field analysis;
65.
Handling Micro Objects by Adhesion Forces Using Gilt Probe
机译:
使用镀金探针通过粘附力处理微小物体
作者:
Jianhua Wu
;
Jian Lu
;
Jiaru Chu
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
66.
FABRICATION AND ASSEMBLY OF A HIGH PERFORMANCE AIR-BREATHING MICRO DIRECT METHANOL FUEL CELL
机译:
高性能气导微直接甲醇燃料电池的制备与组装
作者:
Junsheng Liang
;
Chong Liu
;
Jianguo Liu
;
Gang Zhao
;
Liding Wang
;
Xiaodong Wang
;
Gongquan Sun
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
67.
Fabrication of a Mini Mechanical linear Acceleration Switch with Spiral Beam and Micro Electrode Tip
机译:
带有螺旋束和微电极头的微型机械线性加速开关的制造
作者:
Chen Guang-yan
;
Wu Jia-li
;
ZhaoLong
;
Ding Yuan-ping
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
关键词:
switch;
apparent acceleration;
spiral beam;
linear acceleration;
68.
IN THE WAY TO THE SECOND GENERATION OF MICROEQUIPMENT
机译:
在微设备的第二代生产中
作者:
L. Ruiz-Huerta
;
A. Caballero-Ruiz
;
G. Ascanio
;
T. Baidyk
;
E Kussul
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
69.
INNOVATIVE LOW TEMPERATURE BONDING TECHNOLOGIES FOR μ-DEVICE PACKAGING
机译:
μ设备封装的创新低温粘合技术
作者:
Rainer Pelzer
;
Viorel Dragoi
;
Shari Farrens
;
Paul Kettner
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
70.
DESKTOP MICRO DRILLING AND ASSEMBLING SYSTEM BY MICROROBOTS -Combination of Global and Local Positioning System-
机译:
微型机器人的台式微钻和装配系统-全球和本地定位系统的结合-
作者:
Yutaka Wakikaido
;
Takashi Kawai
;
Shirou Kayano
;
Daigo Misaki
;
Ohmi Fuchiwaki
;
Takashi Usuda
;
Hisayuki Aoyama
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
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2004年
71.
Research on Positioning Error Modeling by RBF Neural Networks in Precision Positioning System
机译:
精密定位系统中基于RBF神经网络的定位误差建模研究
作者:
Li Mingming
;
Zhu Jianmin
;
Sun Linzhi
;
Gong Zhenbang
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
关键词:
precision positioning;
RBF neural networks;
error modeling;
over-fitting;
72.
USING HOT EMBOSSING TO MASS-PRODUCE PDMS STAMPS
机译:
使用热压印成批量生产的PDMS邮票
作者:
Hong-Wen Sun
;
Jing-Quan Liu
;
Di Chen
;
Pan Gu
;
Jian-Hua Li
会议名称:
《International Workshop on Microfactories vol.1; 20041015-17; Shanghai(CN)》
|
2004年
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