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公开/公告号CN102683479B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-03-01
原文格式PDF
申请/专利权人 埃尔塔设备公司;
申请/专利号CN201210027952.3
发明设计人 H·聂;B·M·卡耶斯;I·C·凯兹亚力;
申请日2012-02-09
分类号
代理机构北京市铸成律师事务所;
代理人刘博
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:52:25
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-01
授权
2014-03-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20120209
实质审查的生效
2012-09-19
公开
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