掌桥科研
一站式科研服务平台
科技查新
收录引用
专题文献检索
外文数据库(机构版)
更多产品
首页
成为会员
我要充值
退出
我的积分:
中文会员
开通
中文文献批量获取
外文会员
开通
外文文献批量获取
我的订单
会员中心
我的包量
我的余额
登录/注册
文献导航
中文期刊
>
中文会议
>
中文学位
>
中国专利
>
外文期刊
>
外文会议
>
外文学位
>
外国专利
>
外文OA文献
>
外文科技报告
>
中文图书
>
外文图书
>
工业技术
基础科学
医药卫生
农业科学
教科文艺
经济财政
社会科学
哲学政法
其他
工业技术
基础科学
医药卫生
农业科学
教科文艺
经济财政
社会科学
哲学政法
其他
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
材料科学
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
马克思主义、列宁主义、毛泽东思想、邓小平理论
哲学、宗教
社会科学总论
政治、法律
军事
经济
文化、科学、教育、体育
语言、文字
文学
艺术
历史、地理
自然科学总论
数理科学和化学
天文学、地球科学
生物科学
医药、卫生
农业科学
工业技术
交通运输
航空、航天
环境科学、安全科学
综合性图书
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
材料科学
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
材料科学
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
美国国防部AD报告
美国能源部DE报告
美国航空航天局NASA报告
美国商务部PB报告
外军国防科技报告
美国国防部
美国参联会主席指示
美国海军
美国空军
美国陆军
美国海军陆战队
美国国防技术信息中心(DTIC)
美军标
美国航空航天局(NASA)
战略与国际研究中心
美国国土安全数字图书馆
美国科学研究出版社
兰德公司
美国政府问责局
香港科技大学图书馆
美国海军研究生院图书馆
OALIB数据库
在线学术档案数据库
数字空间系统
剑桥大学机构知识库
欧洲核子研究中心机构库
美国密西根大学论文库
美国政府出版局(GPO)
加利福尼亚大学数字图书馆
美国国家学术出版社
美国国防大学出版社
美国能源部文献库
美国国防高级研究计划局
美国陆军协会
美国陆军研究实验室
英国空军
美国国家科学基金会
美国战略与国际研究中心-导弹威胁网
美国科学与国际安全研究所
法国国际关系战略研究院
法国国际关系研究所
国际宇航联合会
美国防务日报
国会研究处
美国海运司令部
北约
盟军快速反应部队
北约浅水行动卓越中心
北约盟军地面部队司令部
北约通信信息局
北约稳定政策卓越中心
美国国会研究服务处
美国国防预算办公室
美国陆军技术手册
一般OA
科技期刊论文
科技会议论文
图书
科技报告
科技专著
标准
其它
美国卫生研究院文献
分子生物学
神经科学
药学
外科
临床神经病学
肿瘤学
细胞生物学
遗传学
公共卫生&环境&职业病
应用微生物学
全科医学
免疫学
动物学
精神病学
兽医学
心血管
放射&核医学&医学影像学
儿科
医学进展
微生物学
护理学
生物学
牙科&口腔外科
毒理学
生理学
医院管理
妇产科学
病理学
生化技术
胃肠&肝脏病学
运动科学
心理学
营养学
血液学
泌尿科学&肾病学
生物医学工程
感染病
生物物理学
矫形
外周血管病
药物化学
皮肤病学
康复学
眼科学
行为科学
呼吸学
进化生物学
老年医学
耳鼻喉科学
发育生物学
寄生虫学
病毒学
医学实验室检查技术
生殖生物学
风湿病学
麻醉学
危重病护理
生物材料
移植
医学情报
其他学科
人类生活必需品
作业;运输
化学;冶金
纺织;造纸
固定建筑物
机械工程;照明;加热;武器;爆破
物理
电学
人类生活必需品
作业;运输
化学;冶金
纺织;造纸
固定建筑物
机械工程;照明;加热;武器;爆破
物理
电学
马克思主义、列宁主义、毛泽东思想、邓小平理论
哲学、宗教
社会科学总论
政治、法律
军事
经济
文化、科学、教育、体育
语言、文字
文学
艺术
历史、地理
自然科学总论
数理科学和化学
天文学、地球科学
生物科学
医药、卫生
农业科学
工业技术
交通运输
航空、航天
环境科学、安全科学
综合性图书
主题
主题
题名
作者
关键词
摘要
高级搜索 >
外文期刊
外文会议
外文学位
外国专利
外文图书
外文OA文献
中文期刊
中文会议
中文学位
中国专利
中文图书
外文科技报告
清除
历史搜索
清空历史
首页
>
外文会议
>
化工、能源
>
22nd Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference Feb 17-19, 2003 Santa Clara, CA
22nd Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference Feb 17-19, 2003 Santa Clara, CA
召开年:
召开地:
出版时间:
-
会议文集:
-
会议论文
热门论文
全部论文
相关中文期刊
水泥
全国造气技术通讯
耐火与石灰
贵州化工
广州化工
中国化工报导(英文版)
磷肥与复肥
中国氯碱
国际化工信息
气雾剂通讯
更多>>
相关中文会议
电石法聚氯乙烯行业汞污染防治现场经验交流会暨2013年度氯碱行业环保工作年会
2011年全国塑料着色与色母粒学术交流会
2011年中国涂料工业协会建筑涂料分会年会
第九届全国工业表面活性剂发展研讨会
2008年中国水泥技术年会暨第十届全国水泥技术交流大会
2005年中国口腔清洁护理用品工业学术研讨会
中国包装联合会塑料包装委员会第七届委员会第三次年会暨行业政策法规研讨会
中国石灰协会冶金石灰专业委员会第二次会员代表大会暨2005年冶金石灰技术交流会议
第七届全国新农药创制学术交流会
2014年中国水泥技术年会暨第十六届全国水泥技术交流大会
更多>>
相关外文会议
TMS(The Minerals, Metals & Materials Society) Annual Meeting; 20060312-16; San Antonio,TX(US)
26th Annual Landfill Gas Symposium Mar 24-27, 2003 Tampa, Florida
Takasaki Symposium on Radiation Application of Natural Polymers in Asia, Oct 1-2, 2001, Takasaki, Japan
Laurance Reid Gas Conditioning Conference(LRGCC 2005); 20050227-0302; Norman,OK(US)
2nd IFAC Conference on Mechatronic Systems 2002 Vol.1 Dec 9-11, 2002 Berkeley, California, USA
ASME summer heat transfer conference 2008
17th International Conference and Workshop on Risk, Reliability, and Security Oct 8-11, 2002 Jacksonville, Florida
Annual meeting on nuclear technology 2005
IET-UK 3rd International on Sustainable Energy and Intelligent Systems
Utilisation and Reliability of High Power Proton Accelerators; Nuclear Science
更多>>
热门会议
Meeting of the internet engineering task force;IETF
日本建築学会;日本建築学会大会
日本建築学会(Architectural Institute of Japan);日本建築学会年度大会
日本建築学会学術講演会;日本建築学会
日本建築学会2010年度大会(北陸)
Korean Society of Noise & Vibration Control;Institute of Noise Control Engineering;International congress and exposition on noise control engineering;ASME Noise Control & Acoustics Division
土木学会;土木学会全国大会年次学術講演会
応用物理学会秋季学術講演会;応用物理学会
総合大会;電子情報通信学会
The 4th International Conference on Wireless Communications, Networking and Mobile Computing(第四届IEEE无线通信、网络技术及移动计算国际会议)论文集
更多>>
最新会议
2011 IEEE Cool Chips XIV
International workshop on Java technologies for real-time and embedded systems
Supercomputing '88. [Vol.1]. Proceedings.
RILEM Proceedings PRO 40; International RILEM Conference on the Use of Recycled Materials in Buildings and Structures vol.1; 20041108-11; Barcelona(ES)
International Workshop on Hybrid Metaheuristics(HM 2007); 20071008-09; Dortmund(DE)
The 57th ARFTG(Automatic RF Techniques Group) Conference, May 25, 2001, Phoenix, AZ
Real Time Systems Symposium, 1989., Proceedings.
Conference on Chemical and Biological Sensing V; 20040412-20040413; Orlando,FL; US
American Filtration and Separations Society conference
Combined structures congress;North American steel construction conference;NASCC
更多>>
全选(
0
)
清除
导出
1.
Correlation of HF Assay and Standard-Free ICP-MS Determination of Trace Metals in Process Chemicals
机译:
HF测定法与无标准ICP-MS测定工艺化学品中痕量金属的相关性
作者:
Y. P. Lin
;
Y. P. Fun
;
W. S. Lai
;
Y. J. Tseng
;
Y. L. Lo
;
Y. C. Ka
;
S. C. Huang
;
S. F. Tseng
;
C. L. Chen
;
S. C. Yang
;
K. H. Fan
;
S. H. Liu
;
S. L. Chen
会议名称:
《22nd Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference Feb 17-19, 2003 Santa Clara, CA》
|
2003年
2.
A Fast Auto-titration Method to Determine the Content of BTA in Slurry
机译:
确定浆料中BTA含量的快速自动滴定方法
作者:
Berry S. R. Tseng
;
C. F. Wang
;
Richard Wu
;
S. L. Chen
会议名称:
《22nd Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference Feb 17-19, 2003 Santa Clara, CA》
|
2003年
3.
Improvements in Advanced Gate Oxide Electrical Performance by the use of an Ozonated Water Clean Process
机译:
通过使用臭氧水净化工艺改善高级栅极氧化物的电性能
作者:
Joel Barnett
;
Naim Moumen
;
Deborah Riley
;
Christiane Gottschalk
会议名称:
《22nd Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference Feb 17-19, 2003 Santa Clara, CA》
|
2003年
4.
Surface Electrical Charge on a Liquid-Dispensed Spinning Wafer in Single-Wafer Wet Processing
机译:
单晶圆湿法处理中的液体分配旋转晶圆上的表面电荷
作者:
Han-Wen Chen
;
Steven Verhaverbeke
;
Fadzli Hassan
;
Renhe Jia
会议名称:
《22nd Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference Feb 17-19, 2003 Santa Clara, CA》
|
2003年
5.
Purification of Wet Etch and Cleaning Chemicals and DI Rinse water Using High Performance Membrane Purifiers
机译:
使用高性能膜净化器净化湿法腐蚀和清洁化学品以及去离子水
作者:
Bipin Parekh
;
Yukio Hashimoto
;
Mutsuhiro Amari
会议名称:
《22nd Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference Feb 17-19, 2003 Santa Clara, CA》
|
2003年
6.
Characterization of Organics in UPW with LC-OCD (Liquid Chromatography ― Organic Carbon Detection) Using Sample Pre-Concentration: Preliminary Results
机译:
使用样品预浓缩的LC-OCD(液相色谱-有机碳检测)表征UPW中的有机物:初步结果
作者:
Stefan A. Huber
会议名称:
《22nd Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference Feb 17-19, 2003 Santa Clara, CA》
|
2003年
7.
Contamination Monitoring of Semiconductor Processes by VPD HR-ICPMS
机译:
通过VPD HR-ICPMS监测半导体工艺的污染
作者:
Meike Hamester
;
Juergen Lerche
;
Anton Huber
会议名称:
《22nd Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference Feb 17-19, 2003 Santa Clara, CA》
|
2003年
8.
Obtaining Greater Process Control While Minimizing Particle Contamination
机译:
在减少颗粒污染的同时获得更好的过程控制
作者:
Chuck Gould
会议名称:
《22nd Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference Feb 17-19, 2003 Santa Clara, CA》
|
2003年
9.
Determination of Anions on Silicon Wafer by Vapor Phase Decomposition - Ion Chromatography
机译:
气相分解-离子色谱法测定硅片上的阴离子
作者:
I. H. Chang
;
Berry S. R. Tseng
;
S. J. Chang
;
S. L. Chen
会议名称:
《22nd Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference Feb 17-19, 2003 Santa Clara, CA》
|
2003年
10.
Particle Performance of Modified SC-1 Solutions
机译:
改进的SC-1解决方案的粒子性能
作者:
Christopher Beaudry
;
Jennifer Baker
;
Steven Verhaverbeke
会议名称:
《22nd Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference Feb 17-19, 2003 Santa Clara, CA》
|
2003年
11.
The Anticipated Behavior of Bubbles in Semiconductor Process Liquids
机译:
半导体工艺液体中气泡的预期行为
作者:
Don Grant
会议名称:
《22nd Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference Feb 17-19, 2003 Santa Clara, CA》
|
2003年
12.
STI Ceria Slurries: Challenges for Post CMP Cleaning Processes
机译:
STI Ceria浆料:CMP后清洁工艺的挑战
作者:
Robert Small
;
Pascal Berar
;
Brandon Scott
;
Cass Shang
会议名称:
《22nd Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference Feb 17-19, 2003 Santa Clara, CA》
|
2003年
13.
Selective Wet Etching for High-K Material by Organic Solvent Containing Hydrofluoric Acid
机译:
含氢氟酸的有机溶剂对高K材料的选择性湿蚀
作者:
Dasiuke. Watanabe
;
Hiroshi. Momota
;
Takehiko. Kezuka
;
Takashi. Kanemura
;
Mitsushi. Itano
;
Deborah Riley
;
Joel Barnett
会议名称:
《22nd Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference Feb 17-19, 2003 Santa Clara, CA》
|
2003年
14.
On-Line Monitoring Of BTA In Copper CMP
机译:
铜CMP中BTA的在线监测
作者:
Todd A. Cerni
会议名称:
《22nd Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference Feb 17-19, 2003 Santa Clara, CA》
|
2003年
15.
Performance Characteristics of Membrane Pre-filters
机译:
膜预滤器的性能特征
作者:
Christopher Shields
会议名称:
《22nd Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference Feb 17-19, 2003 Santa Clara, CA》
|
2003年
16.
Resolution of Permeation Issues in Liquid-handling Systems
机译:
解决液体处理系统中的渗透问题
作者:
Don Grant
会议名称:
《22nd Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference Feb 17-19, 2003 Santa Clara, CA》
|
2003年
17.
Post-CMP Cleaning of Hydrophilic and Hydrophobic Films Using Aqueous Assisted Co_2 Cryogenic Cleaning
机译:
使用水性辅助Co_2低温清洗对亲水膜和疏水膜进行CMP后清洗
作者:
Souvik Banerjee
;
Andrea Via
;
Harlan F. Chung
;
Robert Small
;
Cass Shang
会议名称:
《22nd Annual Semiconductor Pure Water and Chemicals Conference Feb 17-19, 2003 Santa Clara, CA》
|
2003年
意见反馈
回到顶部
回到首页