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半导体设备

半导体设备的相关文献在1976年到2023年内共计2904篇,主要集中在无线电电子学、电信技术、工业经济、化学工业 等领域,其中期刊论文926篇、会议论文8篇、专利文献2688334篇;相关期刊204种,包括现代材料动态、电力电子、电子与电脑等; 相关会议8种,包括第四届海峡两岸创新方法(TRIZ)研讨会、第八届中国标准化论坛、07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会等;半导体设备的相关文献由2950位作者贡献,包括贺贤汉、山崎舜平、张正伟等。

半导体设备—发文量

期刊论文>

论文:926 占比:0.03%

会议论文>

论文:8 占比:0.00%

专利文献>

论文:2688334 占比:99.97%

总计:2689268篇

半导体设备—发文趋势图

半导体设备

-研究学者

  • 贺贤汉
  • 山崎舜平
  • 张正伟
  • 王伟
  • 章从福
  • 张阳
  • 李泓波
  • 王宁
  • 不公告发明人
  • 王迪杏
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利文献

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