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Thin film materials for large area electronics
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1.
XPS characterization of tungsten-based contact layers on 4H-SiC
机译:
4H-SiC上钨基接触层的XPS表征
作者:
A.Kakanakova-Georgieva
;
Ts.Marinova
;
O.Noblanc
;
C.Arnodo
;
S.Cassette
;
C.Brylinski
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
X-ray photoelectron spectroscopy;
Interface reaction;
WN/SiC structure;
2.
Stability of low pressure chemical vapour deposition amorphous silicon
机译:
低压化学气相沉积非晶硅的稳定性
作者:
M.Kostana
;
J.Jang
;
S.M.Pietruszko
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Amorphous silicon;
Doping;
Hydrogenation;
Metastability;
quenching;
3.
Stability and transport properties of microcrystalline Si_1-xGe_x films
机译:
Si_1-xGe_x微晶薄膜的稳定性和传输性质
作者:
F.Edelman
;
T.Raz
;
Y.Komem
;
M.Stoelzer
;
P.Werner
;
P.Zaumseil
;
H.-J.Osten
;
J.Griesche
;
M.Capitan
会议名称:
《》
|
1998年
关键词:
Silicon-germanium films;
X-ray diffraction;
Crystallization;
Hillocks;
Electron transport;
4.
Solid-phase crystallization of amorphous SiGe films deposited by LPCVD on SiO_2 and glass
机译:
LPCVD在SiO_2和玻璃上沉积非晶SiGe膜的固相结晶
作者:
J.Olivares
;
A.Rodriguez
;
J.Sangrador
;
t.Rodriguez
;
C.Ballesteros
;
A.Kling
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Polycrystalline-SiGe;
Solid-phase crystallization;
Thin film transistor;
5.
Transport properties of #mu#c-Si:H analyzed by means of numerical simulation
机译:
数值模拟分析#mu#c-Si:H的输运性质
作者:
Alessandro Fantoni
;
Manuela Vieira
;
Rodrigo Martins
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Transport properties;
#mu#c-Si:H;
Numerica;
simulation;
6.
Contactless electronic transport analysis of microcrystalline silicon
机译:
微晶硅的非接触电子传输分析
作者:
R.Brenot
;
R.Vanderhaghen
;
B.Drevillon
;
T.Mohammed-Brahim
;
P.Roca i Cabarrocas
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Transport;
Microcrystalline silicon;
7.
Temperature analysis of polysilicon thin-film transistors made by excimer laser crystallization
机译:
准分子激光晶化制备的多晶硅薄膜晶体管的温度分析
作者:
V.Foglietti
;
L.Mariucci
;
G.Fortunato
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Excimer laser crystallization;
Density of states (DOS) model: Kink effect;
8.
Al-based aputter-deposited films for large liquid-crystal-display
机译:
大型液晶显示器用铝基喷镀膜
作者:
Hiroshi Takatsuji
;
Toshiaki Arai
;
Satoshi Tsuji
;
K.Kuroda
;
H.Saka
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Taguchi methods;
Large glass substrate;
Aluminum thin film;
Thin-film;
Thin-film-transistor liquid-crystal displays;
Sputtering;
9.
Applicability of Raman scattering for the characterization of nanocrystalline silicon
机译:
拉曼散射在纳米晶硅表征中的适用性
作者:
Ch.Ossadnik
;
S.Veprek
;
I.Gregora
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Raman sattering;
Nanocrystalline silicon;
10.
Characteristics of a linear array of a-Si:H thin film position sensitive detector
机译:
a-Si:H薄膜位置敏感探测器的线性阵列的特性
作者:
E.Fortunato
;
F.Soares
;
P.Teodoro
;
N.Guimaraes
;
M.Mendes
;
H.Aguas
;
V.Silva
;
R.Martins
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Position sensors;
Devices;
Amorphous silicon;
Thin films;
11.
Control of orientation from random to (220) or (400) in polycrystalline silicon films
机译:
控制多晶硅膜从无规到(220)或(400)的取向
作者:
T.Kamiya
;
K.Nakahata
;
A.Miida
;
C.M.Fortmann
;
I.Shimizu
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Polycrystalline silicon thin film;
Orientation control;
Tetra-fluoro silane;
Remote type microwave plasma;
Chemical vapor deposition;
12.
Deposition of nanocrystalline silicon mediated by ultrathin aluminum underlayers by PCVD and sputter-deposition at 500 K
机译:
通过PCVD沉积由超薄铝底层介导的纳米晶硅并在500 K下进行溅射沉积
作者:
Tilo P.Druesedau
;
Anette Diez
;
Juergen Blaesing
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Nanocrystallites;
Metal-induced crystallization;
PCVD;
Magnetron-sputtering;
13.
Design issues of two-dimensional amorphous silicon position-sensitive detectors
机译:
二维非晶硅位置敏感探测器的设计问题
作者:
Jia-Yi Shung
;
Klaus Y.-J.Hsu
;
Yeu-Long Jiang
;
Cho-Jen Tsai
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Amorphous silicon;
Position-sensitive detector;
Spectral response;
Uniformity;
14.
Electronic properties of bottom gate silicon nitride/hydrogenated amorphous silicon structures
机译:
底栅氮化硅/氢化非晶硅结构的电子性能
作者:
J.P.Kleider
;
C.Longeaud
;
F.Dayoub
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Amorphous silicon;
Silicon nitride;
Bottom gate;
Defect pool;
15.
Deposition, defect and weak bond formation processes in a-Si:H
机译:
a-Si:H中的沉积,缺陷和弱键形成过程
作者:
J.Robertson
;
M.J.Powell
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Deposition;
Weak bond formation;
Hydrogenated amorphous silicon;
16.
From materials to products: a system perspective
机译:
从材料到产品:系统角度
作者:
Carlo Reita
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Large area electronics;
Products;
Displays;
17.
Enhancing the field emission properties of amorphous carbon films by thermal annealing
机译:
通过热退火增强非晶碳膜的场发射特性
作者:
A.P.Burden
;
R.D.Forrest
;
S.R.P.Silva
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Amorphous hydrogenated carbon;
Amorphous semiconductor;
Plasma enhanced chemica;
vapour deposition;
Annealing;
Field emission;
FED;
18.
High quality, relaxed SiGe epitaxial layers for solar cell application
机译:
用于太阳能电池的高质量,松弛的SiGe外延层
作者:
K.Said
;
J.Poortmans
;
M.Caymax
;
R.Loo
;
A.Daami
;
g.Bremond
;
O.Kruger
;
M.Kittler
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Si_-xGe_x layers;
Reduced pressure chemical vapor deposition;
Electron beam induced current;
Dislocation;
19.
Ion implantation of microcrystalline silicon for low process temperature top gate thin film transistors
机译:
用于低工艺温度顶栅薄膜晶体管的微晶硅离子注入
作者:
V.Chu
;
H.Silva
;
L.M.Redondo
;
C.Jesus
;
M.F.Silva
;
J.C.Soares
;
J.P.Conde
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Microcrystalline Silicon;
Ion implantation;
Thin film transistors;
20.
Large area X-ray detectors based on amorphous silicon technology
机译:
基于非晶硅技术的大面积X射线探测器
作者:
Jean-Pierre Moy
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
X-ray imaging;
Amorphous silicon;
Pixel;
Array;
Scintillator;
Photoconductor;
21.
A new method for the determination of the channel length reduction in polysilicon thin film transistors (TFTs)
机译:
确定多晶硅薄膜晶体管(TFT)的沟道长度减小的新方法
作者:
Filippos V.Farmakis
;
Jean Brini
;
Georges Kamarinos
;
Nathalie Mathieu
;
Charalabos A.Dimitriadis
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Polysilicon;
Thin film transistors;
Channel reduction;
22.
Insulating layers of polycrystalline GaAsS compounds grown by reactive plasma sputtering
机译:
通过反应性等离子体溅射生长的多晶GaAsS化合物的绝缘层
作者:
O.Pesty
;
P.Canet
;
F.Lalande
;
J.L.Seguin
;
H.Carchano
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Polycrystalline GaAsS;
Reactive plassma sputtering;
23.
Microcrystalline silicon growth on a-Si:H: effects of hydrogen
机译:
a-Si:H上的微晶硅生长:氢的影响
作者:
P.Roca i Cabarrocas
;
S.Hamma
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Hydrogen;
Microcrystalline silicon;
Long range effects;
Ellipsometry;
Secondary ion mass spectrometry;
24.
Performances exhibited by large area ITO layers produced by r.f. magnetron sputtering
机译:
r.f.生产的大面积ITO层表现出的性能。磁控溅射
作者:
I.Baia
;
M.Quintela
;
L.Mendes
;
P.Nunes
;
R.Martins
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Indium tin oxide;
r.f. magnetron sputtering;
Annealing;
Reannealing;
25.
Properties of polycrystalline silicon films prepared from fluorinated precursors
机译:
由氟化前体制备的多晶硅薄膜的性能
作者:
Swati Ray
;
sumita Mulhopadhyay
;
S.C.Saha
;
Sukti Hazra
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Polycrystalline silicon;
Thin film;
PECVD;
Characterization;
26.
Coplanar amorphous silicon thin film transistor fabricated by inductively-coupled plasma CVD
机译:
通过电感耦合等离子体CVD制备的共面非晶硅薄膜晶体管
作者:
Sung Ki Kim
;
Se Il Cho
;
Young Jin Choi
;
Kyu Sik Cho
;
S.M.Pietruszko
;
Jin Jang
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Thin film transistor;
Amorphous silicon;
Plasma deposition;
27.
Stability and quantum efficiency of a novel type of a-Si:H/a-SiC:H based UV detector
机译:
新型基于a-Si:H / a-SiC:H的紫外探测器的稳定性和量子效率
作者:
P.Mandracci
;
M.L.Rastello
;
P.Rava
;
F.Giuliani
;
F.Giorgis
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Thin film;
UV detectors;
Photoelectrica;
properties;
Amorphous silicon;
28.
Single shot excimer laser crystallization and LPCVD silicon TFTs
机译:
单发准分子激光结晶和LPCVD硅TFT
作者:
Y.Helen
;
K.Mourgues
;
F.Raoult
;
T.Mohammed-Brahim
;
O.Bonnaud
;
R.Rogel
;
S.Prochasson
;
P.Boher
;
D.Zahorski
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Polysilicon films;
Thin film transistors;
Amorphous silicon;
Laser cyrstallization;
29.
The control fo the high-density microwave plasma for large-area electronics
机译:
大面积电子设备中高密度微波等离子体的控制
作者:
Hajime Shirai
;
Yoshikazu Sakuma
;
Hiroyuki Ueyama
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Large-area plasma;
Low-electron temperature;
High-density plasma;
Microwave plasma;
Spokewise antenna;
#mu#c-Si:H;
SiH_2Cl_2;
30.
Crystallization control of the amorphous buffer layer in hydrogenated nanocrystalline silicon
机译:
氢化纳米晶硅中非晶缓冲层的结晶控制
作者:
F.Courbilleau
;
A.Achiq
;
P.Voivenel
;
R.Rizk
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Hydrogenated nanocrystalline silicon;
RF sputtering;
Amorphous buffer layer;
31.
Carrier transport, structure and orientation in polycrystalline silicon on glass
机译:
玻璃上多晶硅中的载流子传输,结构和取向
作者:
K.Nakahata
;
A.Miida
;
T.Kamiya
;
C.M.Fortmann
;
I.Shimizu
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Polycrystalline silicon on glass;
X-ray diffraction;
Plasma enhanced chaemical vapor deposition;
32.
Device-quality polycrystalline silicon films deposited at low process temperatures by hot-wire chemical vapor deposition
机译:
通过热线化学气相沉积在低工艺温度下沉积的器件质量的多晶硅膜
作者:
S.C.Saha
;
J.Guillet
;
B.Equer
;
J.E.Bouree
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Polycrystalline silicon;
Thin films;
Hot-wire CVD;
Low-temperature deposition;
UV-visible ellipsometry;
Dark conductivity;
33.
Deposition of microcrystalline silicon in an integrated distributed electron cyclotron resonance PECVD reactor
机译:
在集成分布式电子回旋共振PECVD反应器中沉积微晶硅
作者:
P.Bulkin
;
A.Hofrichter
;
R.Brenot
;
B.Drevillon
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Microcrystalline silicon;
Integrated distributed electron cyclotron resonance;
Plasma enhanced chemical vapour deposition;
34.
Ge:Si:O evaporated alloys as a thermosensitive layer for large area bolometers
机译:
Ge:Si:O蒸发合金作为大面积辐射热计的热敏层
作者:
E.Iborra
;
J.Sangrador
;
M.Clement
;
J.Perriere
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Silicon;
Germanium;
Amorphos;
Coevaporation;
Thermoresistor;
35.
Growth mechanism of microcrystalline silicon obtained from reactive plasmas
机译:
反应性等离子体制备微晶硅的生长机理
作者:
Akihisa Matsude
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Microcrystalline silicon;
Reactive plasmas;
36.
High rate deposition of ta-C:H using an electron cyclotron wave resonance plasma source
机译:
使用电子回旋波共振等离子体源高速率沉积ta-C:H
作者:
N.A.Morrison
;
S.E.Rodil
;
A.C.Ferrari
;
J.Robertson
;
W.I.Milne
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Electron cyclotron wave resonance;
Tetrahedral amorphous carbon;
High rate deposition;
37.
Improved characterization of polycrystalline silicon film, by resonant Raman scattering
机译:
通过共振拉曼散射改善多晶硅膜的特性
作者:
V.Paillard
;
P.Puech
;
P.Temple-Boyer
;
B.Caussat
;
E.Scheid
;
J.P.Couderc
;
B.de Mauduit
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Polycrystalline silicon;
Low pressure chemical vapor deposition;
Raman scattering;
38.
Influence of surface morphology of the polycrystalline silicon on field electron emission
机译:
多晶硅的表面形态对场电子发射的影响
作者:
Anatoli A.Evtukh
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Field electron emission;
Polycrystalline silicon;
Asperities;
39.
Large-grained polycrystalline silicon on glass by copper vapor laser annealing
机译:
铜蒸气激光退火在玻璃上的大晶粒多晶硅
作者:
J.R.Koehler
;
R.Dassow
;
R.B.Bergmann
;
J.Krinke
;
H.P.Strunk
;
J.H.Werner
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Large-Grained Polycrystalline silicon;
Copper vapor laser;
crystallization;
40.
Low temperature silicon deposition for large area sensors and solar cells
机译:
适用于大面积传感器和太阳能电池的低温硅沉积
作者:
M.B.Schubert
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Thin film sensors;
Amorphous silicon;
Hot-wire deposition;
41.
Lateral growth control in excimer laser crystallized polysilicon
机译:
准分子激光结晶多晶硅的横向生长控制
作者:
L.Mariucci
;
R.Carluccio
;
A.Pecora
;
V.Foglietti
;
G.Fortunato
;
P.Legagneux
;
D.Pribat
;
D.Della Sala
;
J.Stoemenos
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Lateral growth;
Crystallized polysilicon;
Super lateral growth;
42.
Laser crystallised poly-Si TFTs for AMLCDs
机译:
用于AMLCD的激光结晶多晶硅TFT
作者:
S.D.Brotherton
;
J.R.Ayres
;
M.J.Edwards
;
C.A.Fisher
;
C.Glaister
;
J.P.Gowers
;
D.J.McCulloch
;
M.Trainor
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Poly-Si TFTs;
AMLCDs;
43.
In-situ diagnostics for preparation of laser crystallized silicon films on glass for solar cells
机译:
用于在太阳能电池玻璃上制备激光结晶硅膜的原位诊断
作者:
G.Andrae
;
J.Bergmann
;
F.Falk
;
E.Ose
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Polycrystalline silicon layers;
Laser crystallization;
Optical diagnostics;
Time resolved measurement;
44.
Nitrogen-added Al rare-earth alloys for thin film transistors
机译:
薄膜晶体管用添加氮的铝稀土合金
作者:
Toshiaki Arai
;
Hiroshi Takatsuji
;
Hideo Iiyori
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Aluminum-rare-earth alloy;
Nitrogen;
Void;
Hillock;
45.
Performances presented by zinc oxide thin films deposited by spray pyrolysis
机译:
喷雾热解沉积氧化锌薄膜的性能
作者:
P.Nunes
;
B.Fernandes
;
E.Fortunato
;
P.Vilarinho
;
R.Martins
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Coatings;
Deposition process;
Zinc oxide, Electrical propertities;
Optical properties;
X-ray diffraction;
46.
Advanced excimer-laser annealing process for quasi single-crystal silicon thin-film devices
机译:
准单晶硅薄膜器件的先进准分子激光退火工艺
作者:
Masakiyo Matsumura
;
Chang-Ho Oh
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Excimer-laser crystallization;
Thin-film devices;
Polycrystal silicon;
Grain;
Phase-shift;
Thin-film transistors;
SOL;
Solar-cells;
Porous Si;
47.
Polycrystalline silicon film growth in a SiF_4/SiH_4/H_2 plasma
机译:
SiF_4 / SiH_4 / H_2等离子体中的多晶硅膜生长
作者:
B.Lee
;
L.J.Quinn
;
P.T.Baine
;
S.J.N.Mitchell
;
B.M.Armstrong
;
H.S.Gamble
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Polysilicon;
Fluorine;
Thin film transistor;
48.
Plasma enhanced chemical vapor deposition of nanocrystalline silicon films from SiF_4-H_2-He at low temperature
机译:
低温下等离子增强SiF_4-H_2-He纳米晶硅膜的化学气相沉积
作者:
G.Cicala
;
P.Capezzuto
;
G.Bruno
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
nc-Si:H;
SiF_4-H_2_He plasma;
Optical emission spectroscopy;
49.
Optical properties of LPCVD silicon oxynitride
机译:
LPCVD氮氧化硅的光学性质
作者:
M.Modreanu
;
N.Tomozeiu
;
P.Cosmin
;
Mariuca Gartner
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Low pressure chemical vapour deposition;
Oxynitride;
Thin films;
Optical;
Infrared absorption;
50.
Shape of grain size distributions during crystal grain nucleation in a-Si
机译:
a-Si晶粒成核过程中晶粒尺寸分布形状
作者:
Corrado Spinella
;
Salvatore A.Lombardo
;
Francesco Priolo
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Nucleation;
Amorphous silicon;
Rapid thermal anneals;
51.
Sensor properties of Pt doped SnO_2 thin films for detecting CO
机译:
掺Pt的SnO_2薄膜对CO的传感性能
作者:
A.V.Tadeev
;
G.Delabouglise
;
M.Labeau
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Sensor properties;
Pt-doped SnO_2;
Carbon monoxide;
52.
Role of the resistive layer on the performances of 2D a-Si:H thin film position sensitive detectors
机译:
电阻层对2d a-Si:H薄膜位置敏感探测器性能的作用
作者:
R.Martins
;
E.Fortunato
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Position sensors;
Devices;
Amorphous silicon;
Thin films;
53.
Surface melt dynamics and super lateral growth regime in long pulse duration excimer laser crystallization of amorphous Si films
机译:
非晶硅膜的长脉冲准分子激光结晶中的表面熔体动力学和超横向生长机制
作者:
E.Fogarassy
;
S. de Unamuno
;
P.Legagneux
;
F.Plais
;
D.Pribat
;
B.Godard
;
M.Stehle
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Excimer laser;
Silicon crystallization;
Melting grains;
54.
Surface passivation of silicon by rf magnetron-sputtered silicon nitride films
机译:
射频磁控溅射氮化硅膜对硅的表面钝化
作者:
M.Vetter
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Silicon nitride;
Sputtering;
Passivation;
Solar cell;
Hetero junction;
Field-effect passivation;
55.
Structure of polycrystalline silicon films deposited at low temperature by plasma CVD on substrates exposed to different plasma
机译:
通过等离子体CVD在暴露于不同等离子体的基板上低温沉积的多晶硅膜的结构
作者:
S.Moniruzzaman
;
T.Inokuma
;
Y.Kurata
;
S.Takenaka
;
S.Hasegawa
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Poly-Si;
Surface treatment;
Structural properties;
Plasma enhanced chemical vapor deposition;
Nucleation density;
56.
Self-assembly of ultrathin composite TiO_2/polymer films
机译:
超薄复合TiO_2 /聚合物薄膜的自组装
作者:
N.Kovtyukhova
;
P.J.Ollivier
;
S.Chizhik
;
A.Dubravin
;
E.Buzaneva
;
A.Gorchinskiy
;
A.Marchenko
;
N.Smirnova
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Titanium oxide;
Polymer;
Wet layer-by-layer deposition;
Surface morphology;
Electrical properties;
57.
State creation induced by gate bias stress in unhydrogenated polysilicon TFTs
机译:
在未氢化的多晶硅TFT中由栅极偏置应力引起的状态创建
作者:
B.Tala-Ighil
;
A.Rahal
;
K.Mourgues
;
A.Toutah
;
L.Pichon
;
T.Mohammed-Brahim
;
F.Raoult
;
O.Bonnaud
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
Polysilicon;
TFT;
Reliability;
58.
Stability of the dielectric properties of PECVD deposited carbon-doped SiOF films
机译:
PECVD沉积的碳掺杂SiOF薄膜介电性能的稳定性
作者:
Jorge Lubguban Jr.
;
Atsusi Saitoh
;
Yoshihiro Kurata
;
Takao Inokuma
;
Seiichi Hasegawa
会议名称:
《Thin film materials for large area electronics》
|
1998年
关键词:
SiO_2:F:C;
Water resistivity;
Dielectric properties;
Vibrational properties;
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